雷声激光实现全固态深紫外激光器量产，国产DUV光源迈入工业级应用新阶段

来源：环球网

【环球网科技综合报道】在长期被海外厂商垄断的深紫外（Deep Ultraviolet, DUV）激光器领域，中国企业取得关键突破。12月31日消息，杭州雷声激光技术有限公司宣布，其自主研发的全固态DUV激光器已实现规模化稳定量产。核心性能指标经中国计量科学研究院认证达到国际领先水平，标志着我国在高端光电子核心器件领域迈出关键一步。

深紫外激光，作为光子能量的“尖端利器”，在半导体芯片光刻检测、精密微纳加工、尖端科研、高端医疗及国防安全等领域具有不可替代的战略价值。然而，其核心技术长期被少数国际巨头所垄断，成为制约我国相关产业自主发展的关键瓶颈之一。

自创立起，雷声激光便致力于“打造中国人自己的高端激光”，将全固态深紫外激光器作为主攻方向。面对材料、工艺、封装、控制等环节的极高要求，公司组建了一支由顶尖光学工程师、物理学家和工艺专家组成的攻坚团队，从固态晶体的高质量生长与精密加工，到谐振腔的亚微米级稳定设计；从泵浦源的特制与优化，到散热管理和长期老化测试中的千万次数据积累，以“毫米之功，微米之究”的态度， 不断打磨和优化产品。

2025年7月7日，中国计量科学研究院对雷声激光提交的产品进行了严格测试，并出具了权威检测认证报告。报告显示，该系列激光器在光束质量、功率稳定性、长期可靠性及能量转换效率等关键指标上均达到国际顶尖水平。

检测报告显示，产品在核心指标上表现卓越：光束质量（M²因子）接近衍射极限，处于国际最优行列；输出功率长期稳定性优于±0.5%，保障了工业应用的极致精度；平均无故障运行时间（MTBF）大幅领先行业标准，输出功率达到瓦级以上（1.17W），展现了超凡的可靠性；整机电光转换效率实现行业突破，从行业主流的气体激光器的3%突破到46%以上，更为节能环保。

2025年11月，杭州市科技局组织行业顶尖专家为雷声激光召开了专项技术论证与未来发展研讨会。与会专家一致认为，雷声激光已成功突破了全固态深紫外激光器的量产瓶颈，其技术路线与产品性能具有显著的独创性和领先性，是杭州市乃至国家在高端激光领域掌握核心竞争力的典范。

面对资本市场热潮，公司明确表态：暂无上市计划，未来三年将集中资源深耕“更精密、更稳定、更通用”三大方向，持续提升波长稳定性、功率噪声等关键参数，并拓展在光刻检测、量子计算、生物光子学等前沿场景的应用能力。

目前，雷声激光DUV模块已批量交付多家国内半导体设备厂商、精密检测仪器公司和前沿科研机构。（张阳）