北京
国家知识产权局信息显示，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种薄膜铌酸锂光波导制备方法及薄膜铌酸锂光波导”的专利，公开号CN121232364A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明提供一种薄膜铌酸锂光波导制备方法及薄膜铌酸锂光波导，涉及光波导技术领域。薄膜铌酸锂光波导制备方法包括：提供薄膜铌酸锂晶圆作为衬底；在铌酸锂薄膜晶圆的薄膜铌酸锂层的顶部涂覆光刻胶，光刻胶的厚度为第一预设厚度；利用曝光机对光刻胶进行曝光处理，以将掩膜图案转移至光刻胶上；对光刻胶进行手动显影处理，得到光刻胶掩膜层；利用刻蚀工艺对光刻胶掩膜层和薄膜铌酸锂层进行刻蚀处理；采用低温去胶工艺清除薄膜铌酸锂层上残留的光刻胶，获得薄膜铌酸锂光波导。本发明的光波导制备方法能够保证波导侧壁的平滑度，减少光传输损耗，降低制造成本，实现薄膜铌酸锂光波导的量产。
天眼查资料显示，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司，成立于2011年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本48800万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目504次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息97条，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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