国家知识产权局信息显示,苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种薄膜铌酸锂光波导制备方法及薄膜铌酸锂光波导”的专利,公开号CN121232364A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明提供一种薄膜铌酸锂光波导制备方法及薄膜铌酸锂光波导,涉及光波导技术领域。薄膜铌酸锂光波导制备方法包括:提供薄膜铌酸锂晶圆作为衬底;在铌酸锂薄膜晶圆的薄膜铌酸锂层的顶部涂覆光刻胶,光刻胶的厚度为第一预设厚度;利用曝光机对光刻胶进行曝光处理,以将掩膜图案转移至光刻胶上;对光刻胶进行手动显影处理,得到光刻胶掩膜层;利用刻蚀工艺对光刻胶掩膜层和薄膜铌酸锂层进行刻蚀处理;采用低温去胶工艺清除薄膜铌酸锂层上残留的光刻胶,获得薄膜铌酸锂光波导。本发明的光波导制备方法能够保证波导侧壁的平滑度,减少光传输损耗,降低制造成本,实现薄膜铌酸锂光波导的量产。
天眼查资料显示,苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司,成立于2011年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本48800万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目504次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息97条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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