北京
国家知识产权局信息显示，上海则欧机电科技有限公司取得一项名为“适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构”的专利，授权公告号CN223739664U，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构，包括涡轮转子，位于上部，外部设置有涡轮结构，涡轮转子的内部设置有第四牵引轮，作为二级牵引轮压缩机构；牵引轮转子，位于下部，作为一级牵引轮压缩机构；涡旋叶列，位于下部且设置在牵引轮转子内侧，涡轮结构顶部的气路入口作为进气端，涡轮结构、一级牵引轮压缩机构、涡旋叶列、第四牵引轮从上游至下游依次设置，第四牵引轮的气路出口与转子总成内部的主轴装配区连通。本实用新型将二级牵引轮设置在转子内侧，利用螺旋的高速运转赋予污染物更高的冲量，将其有效排出，极大降低其逆流的概率，解决了在定子上设置牵引轮的情况下，仅靠牵引作用难以将污染物有效排出的问题。
天眼查资料显示，上海则欧机电科技有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海则欧机电科技有限公司专利信息5条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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