国家知识产权局信息显示,上海积塔半导体有限公司申请一项名为“半导体结构的制备方法及半导体结构”的专利,公开号CN121218667A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明涉及一种半导体结构的制备方法及半导体结构。方法包括:提供衬底及位于衬底上的外延层,于外延层内形成有源区;于外延层内形成伪栅极沟槽,并基于外延层形成半导体层,半导体层位于伪栅极沟槽的侧壁及底面,且位于有源区与外延层之间;于伪栅极沟槽内形成伪栅极结构;于相邻的伪栅极结构之间形成目标栅极沟槽,目标栅极沟槽沿垂直衬底的方向贯穿半导体层并延伸至外延层内,目标栅极沟槽的深度小于伪栅极沟槽沿的深度;于目标栅极沟槽内形成目标栅极结构;形成层间介质层及金属层,层间介质层至少位于目标栅极结构的顶面,金属层至少位于伪栅极结构的顶面。能够实现间接屏蔽方式保护目标栅极沟槽底部目标栅氧化层,以改善器件的可靠性。
天眼查资料显示,上海积塔半导体有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1790638.7534万人民币。通过天眼查大数据分析,上海积塔半导体有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目1926次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息1309条,此外企业还拥有行政许可200个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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