英媒：中国对现有ASML光刻机进行升级，提升制造国产7nm芯片效率

你有没有想过这样一个场景：你花大价钱买了一辆顶级豪车，结果厂家突然变脸，不仅不给你做保养，甚至连个螺丝钉都不卖给你，明摆着就是想看着你的车趴窝、报废。

这听起来是不是很荒谬？但这正是中方半导体产业在过去两年面临的真实处境。对手原本打得一手好算盘，以为掐断了EUV光刻机的供应，再封锁DUV设备的零部件和软件维护，中方的晶圆厂就会变成一堆废铁。

但现实却狠狠给了他们一记耳光。英国《金融时报》最近披露了一个让白宫坐立难安的消息：中方厂商不光没趴下，反而在搞技术魔改。我们正在对家里这些存量进口光刻机进行手术级升级，原本只能跑80分的设备，硬是被调教到了95分。

这事儿，远没表面那么简单。对手的逻辑是典型的强盗思维，他们认为只要切断了ASML的官方售后，设备一旦磨损、精度下降，中方的7nm制程就会自然崩塌。毕竟，光刻机这种精密怪兽，哪怕是一个传感器的热漂移，都会导致整批晶圆报废。

然而他们低估了中方工程师的动手能力。既然你不给修，那我们就自己修；既然你不给升级，那我们就自己改。中方企业开始利用非美系的全球供应链，寻找替代零部件，通过优化子系统来提升设备的叠加精度。这不仅是续命，更是一种技术上的反向突围。

我查了下ASML最近的财报数据，以前中方市场一度贡献了超过40%的营收，现在虽然回落到了20%左右，但这依然是仅次于中国台湾的第二大金主。这数据说明什么？说白了，这意味着最疯狂的囤货期已经结束了，现在我们进入了深耕细作的消化期。以前是买买买，现在是修修修、改改改。

这就好比在战场上，敌人的补给线断了，我们就把缴获的旧装备拆拆补补，甚至还能魔改出比原版火力更猛的武器。

要知道，用浸润式DUV光刻机造7nm芯片，靠的是多重曝光技术。这就像是在一张纸上画图，原本画一次就行，现在得画四次，还必须完全重合。每一次曝光的对准精度都必须达到极致，稍微手抖一下，成本就是天文数字。

根据Tom’s Hardware引用的产业分析，中方正是通过更换更高精度的传感器和抗震组件，硬生生把这些旧设备的极限又逼出来了一截。虽然这样做的良品率和成本确实不如EUV，但在生存面前，这笔账在战略上是血赚的。

而且，这里有个极少人注意到的细节，细思极恐。美国最新的BIS新规虽然喊得震天响，要封锁零部件，但效果却极其拉胯。为什么？因为光刻机是全球产业链的结晶，很多精密零件根本就不是美国造的。

只要不是美国技术，它的长臂管辖就伸不过去。这种灯下黑的漏洞，正好给了我们建立非美系备件库的绝佳机会。对手越是收紧口袋，流落在外的非美系零部件反而越往中方这边聚集。

这种魔改续命，不仅仅是为了维持现状，更是在为国产替代争取时间。每一台被成功维护、甚至性能升级的旧设备，都为国产光刻机的最终突围争取到了宝贵的几个月。对手想靠磨损耗死我们，结果反倒逼出了一支世界上最懂维修、最懂改造的技术铁军。

当技术封锁变成了技术催化剂，对手的围堵就已经宣告破产。那些试图锁死我们未来的枷锁，最终都会被熔铸成我们向上的阶梯。

从造不如买到买不如改，再到未来的全栈自研，你认为在国产光刻机彻底成熟前，这种魔改旧设备的战术，还能为中方争取到多少年的黄金缓冲期？

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参考信源

Tom's Hardware—(China's fabs are reportedly upgrading older ASML lithography machines to stay competitive — modifying sub-systems to boost efficiency)

金融时报—(Chinese chipmakers upgrade gear to skirt US curbs)

IT之家—(ASML 称中国对其光刻机的需求依旧强劲，约占积压订单的 20%)