P60.X200C-A系列高精度电容式压电纳米定位台

在精密工程与科学研究的前沿，定位系统的性能边界在一定程度上决定了观测与操控微观世界的极限。从半导体制造中的纳米级对焦，到生命科学中单分子级别的实时定位，对运动控制设备在分辨率、稳定性及动态响应上提出了更高的要求。高分辨率压电纳米定位台可以说是完美匹配现代尖端科研与高端制造的优秀的精密操作手，它的核心特点可总结为：在微小尺度上实现纳米级精度、快速响应和高稳定性的运动控制。

芯明天P60.X200C-A系列高精度压电纳米定位台，基于压电式精密驱动技术与直接位移测量的电容传感器闭环技术，它的精度可达0.01%F.S.，可为超精密设备的集成化、小型化提供支撑。

一、压电精密驱动技术

P60.X200C-A压电纳米定位台的驱动核心基于压电陶瓷的逆压电效应，通过精密控制电压，压电材料发生微小但精确可控的形变，将电能直接转换为机械能，从而实现位移输出。再通过FEA建模分析设计的柔性机械结构，将压电材料产生的位移进行精确放大并输出。这一原理赋予了压电纳米定位台一系列关键特性：

1.无机械传动间隙：压电陶瓷与机械结构直接耦合，无中间传动结构，消除回程误差与机械磨损，为纳米级定位提供基础保障；

2.纳米级分辨率：压电陶瓷具有非常高的位移灵敏度，驱动电压的微小变化即可触发材料的伸缩响应。配合精准的驱动电路，可实现纳米级的最小位移步进。

3.毫秒级快速响应：压电陶瓷响应时间可达毫秒级，可实现高速扫描与动态定位，远超传统电机驱动的响应速度；

4.高刚度与稳定性：压电陶瓷材料本身刚度优异，结合一体化柔性铰链结构设计，压电定位台抗振动、抗冲击能力强，运动位移输出精准可控；

5.低功耗与环境兼容：驱动过程仅需低电压（常规驱动电压0~150V），功耗低，且无电磁辐射产生，与电容传感系统协同，可在真空、高低温等极端环境下稳定工作，且适配洁净制造与科研场景。

二、电容CAP闭环

在追求纳米尺度的定位世界里，精度是一个非常重要的维度，对精度的追求是一场永无止境的征程，每一次抵达都是下一个起点的标杆。P60.X200C-A采用了电容传感器闭环控制，它的核心优势源于电容式位移传感器的高精度、非接触式测量特性与压电驱动的高精度运动控制的精准结合，其闭环控制通过实时采集电容传感器的位移信号反馈调节驱动电压，实现高精度、高稳定性的定位。

芯明天电容传感器

电容CAP闭环，就像系统装上了一个纳米世界的标尺。它通过非接触式、直接测量运动微小位移，实时反馈波动值，从根本上解决了压电材料迟滞、蠕变可能带来的误差。

1.高动态响应：电容传感器的非接触、无摩擦的设计和高带宽，配合先进数字控制器，系统能实现很高的伺服更新速率，从而获得毫秒级的阶跃响应和稳定时间，以及较高赫兹的闭环谐振频率，适用于高速扫描和动态追踪。

2.卓越的线性度与重复性：在有效行程内，P60.X200C-A能保持卓越的线性度与高度的重复性，可以精准复现目标所需的往返运动，有效完成高速扫描与复杂轨迹运动。

三、P60.X200C-A压电纳米定位台，驱动创新无限可能

P60.X200C-A压电纳米定位台的研发源于对高精度应用场景的深刻洞察，它不仅是参数的提升，更是为复杂挑战而生的解决方案。

核心应用场景：

1.光学精密测量：高精度压电纳米定位台广泛应用于光学测量领域，例如白光干涉技术，定位台驱动干涉镜头或样品，在垂直方向进行纳米级步进的扫描，以捕获一系列干涉图像并重建表面形貌。P60.X200C-A凭借高速度均匀性、高刚度和快速闭环响应，为白光干涉仪实现纳米垂直分辨率、高准确性提供了有力支撑。

2.半导体与精密制造：在光刻掩模校准、芯片键合对准、半导体缺陷检测、微纳结构加工等领域，P60.X200C-A提供的纳米级精度与毫秒级响应，是实现晶圆高良率与先进制程中重要的定位部件。

3.前沿科学探索：无论是量子科技中的粒子操控、光学实验中的光束精密稳定，还是新材料的特性测试，P60.X200C-A都能作为超高精度的运动平台，实现样品的原子级精确定位与操控。

4.生命科学：在细胞显微注射、基因编辑物料递送、单分子操控等应用中，其高定位精度和稳定性，确保了操作的可控性与成功率。

实测曲线

电压与位移曲线

重复度曲线

线性度曲线

技术参数

推荐控制器

E53.D1C-H4小体积压电控制器是一款模拟与数字式单通道控制器，侧面新增I/O网口通信，具有闭环伺服控制功能，专为驱动配备电容式传感器的压电产品而研发设计。外形尺寸为165×27.5×147mm^3，体积小巧，易于集成。供电为24VDC/1.5A。机身带有散热区域，可快速导出产生的热量。