国家知识产权局信息显示,青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司申请一项名为“一种晶格失配动态调控的液相外延生长方法及设备”的专利,公开号CN121065814A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体材料制备技术领域,具体为一种晶格失配动态调控的液相外延生长方法及设备。具体内容如下:对衬底进行预处理,制备出衬底的微观坑槽,根据相图信息,制备均匀溶液;在多区控温外延炉中设定温度梯度,通过舟装置对衬底外延生长进行控制,将衬底和溶液池依次移入炉内;外延生长过程中,对生长的晶格常数误差、形貌、光电性质进行检测,当检测信号偏离预定阈值时,通过调节溶液浓度和温度补偿晶格失配;在移位过程中,对不同层之间残留的母液,通过倾斜衬底倒出衬底的凹槽中。本发明通过实时检测、实时调节晶格失配,解决了晶格失配控制问题,提高了外延层的质量和性能。
天眼查资料显示,青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司,成立于2022年,位于青岛市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息3条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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