北京
国家知识产权局信息显示，华芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统”的专利，公开号CN121046823A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种VCSEL芯片附带变容积功能的干式真空系统，本发明涉及干式真空设备技术领域，该干式真空系统包括地台、机箱、柔性金属管、真空机构和辅助机构，真空机构包括箱体和底脚，机箱、底脚、辅助机构均与地台固定连接，箱体上设有气孔，辅助机构包括分子泵，柔性金属管与气孔、分子泵均固定连接，真空机构、辅助机构均与机箱通过电信号连接；本发明通过多个独立温控区，实时补偿腔体热损失，从而实现晶圆表面的极致温度均匀性，根据需求调整适配晶圆的腔室容积，主动循环内部辅助气体，使晶圆充分接触辅助气体，提升晶圆反应效率。
天眼查资料显示，华芯半导体科技有限公司，成立于2015年，位于泰州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23715.4421万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯半导体科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息71条，此外企业还拥有行政许可28个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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