北京
国家知识产权局信息显示，楚赟精工科技（上海）有限公司申请一项名为“一种碳化硅生长设备的清洁方法”的专利，公开号CN121046939A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种碳化硅生长设备的清洁方法，包括向生长腔室通入含氢气和氟化氢的无氧清洁气体后，再通入甲硅烷。执行交替通入无氧清洁气体和甲硅烷的步骤至少一次后，执行生长碳化硅层的步骤。生长腔室内的预定温度不低于1400摄氏度，并控制高于生长压力的预设压力，有利于提升清洁速率。氢气对强氧化性的氟化氢起到了稀释作用，同时兼顾了清洁效率，防止过刻蚀。甲硅烷分解产生的硅物种能够与氟生成气态四氟化硅，以及吸附在耐蚀性碳基表面，减少氟化氢对清洁后露出的耐蚀性碳基表面上显著损伤。最后执行生长碳化硅层的步骤，能够固定住生长空间内露出表面所吸附的不易吹扫去除的颗粒物，也为后续的生长提供了良好的生长环境。
天眼查资料显示，楚赟精工科技（上海）有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，楚赟精工科技（上海）有限公司参与招投标项目40次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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