北京
国家知识产权局信息显示，长春长光启辰科技有限公司申请一项名为“一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘”的专利，公开号CN121038024A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，涉及晶圆加工技术领域，包括控制座与加热盘，所述加热盘设于控制座上端并与其电性连接，所述加热盘内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆，所述位于正中心位置的伸缩支撑杆上端固定连接有第一承载台，剩余两组伸缩支撑杆上端固定连接有第二承载台，第一承载台上端固定连接有第一电热丝，第二承载台上端固定连接有第二电热丝，晶圆直径小于第一陶瓷片，仅下压第一陶瓷片，带动第一承载台与第一电热丝上移，单独贴合第一陶瓷片锁热槽；晶圆直径大于第一陶瓷片，同步下压第一、第二陶瓷片，带动两组承载台与电热丝上移，分别贴合对应陶瓷片锁热槽。
天眼查资料显示，长春长光启辰科技有限公司，成立于2021年，位于长春市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，长春长光启辰科技有限公司专利信息12条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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