在半导体制造过程中,晶圆对环境湿度极为敏感,微小的湿气都可能引发氧化、腐蚀或光刻胶失效等问题,严重影响良品率。因此,使用专业干燥柜进行晶圆存储至关重要。高强干燥柜凭借其卓越的控湿性能和稳定可靠的结构,成为半导体行业广泛采用的存储解决方案。
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干燥柜
高强干燥柜采用高效微电脑程控除湿系统技术,结合智能微电脑控制系统,可将柜内湿度精准稳定控制在5%RH以下,甚至达到1%RH超低湿级别,完全满足JEDEC标准对MSD(湿敏器件)的存储要求。柜体选用优质不锈钢或镀锌钢板粉体烤漆防静电材料制造,内部无尘设计,有效避免颗粒污染,保护晶圆表面洁净。同时,高强干燥柜配备多重安全机制,如断电湿度保持、实时湿度监控、密码权限管理及防静电接地装置,确保晶圆在存储过程中的绝对安全。
此外,其模块化设计支持多层抽屉或晶圆专用架配置,空间利用率高,操作便捷。综上所述,高强干燥柜不仅满足半导体晶圆对极端干燥环境的需求,更在安全性、洁净度与智能化方面树立了行业标杆,是晶圆存储不可或缺的关键设备。
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