ASML高管预言成真？中国研发出固态光源新技术，前景很大

ASML这家荷兰公司，在芯片制造设备领域那可是老大，尤其是光刻机，几乎垄断了高端市场。他们的首席执行官彼得·温尼克，几年前在采访里说过一句话，大意是如果美国继续制裁，中国人聪明得很，可能会自己搞出新技术来。

当时很多人觉得这家伙就是在客套，或者是为了推销自家产品才这么说。没想到，这话没过几年，就有点像预言一样开始应验了。中国科学院最近搞出的全固态DUV光源技术，让人眼前一亮，这东西前景确实不小，能在芯片制造上玩出新花样。

芯片制造的核心设备就是光刻机，而光刻机的灵魂是光源系统。传统上，ASML的DUV光刻机用的是氟化氩准分子激光，靠气体激发产生193nm波长的光，用来刻7nm以上的芯片。更先进的EUV光刻机则用极紫外光，能搞定7nm以下的工艺，但这玩意儿超级复杂，全世界就ASML能大规模生产。

美国通过控制ASML的出口，来限制中国在高端芯片上的发展。温尼克在2023年1月的彭博采访里提到过，中国工程师有能力，如果被逼到墙角，会想出自己的路子。他当时强调，制裁可能适得其反，推动中国自主创新。这话在当时被一些人解读为捧场，但现在看，确实有点道理。

转到中国这边的突破。2025年3月，中国科学院光电技术研究所的团队公布了他们的研究成果：一种全固态的深紫外光源技术。这不是小打小闹，而是直接针对DUV光源的革新。传统DUV光源依赖稀有气体，像氩和氟的混合物，在高压电场下激发激光。

但中科院的方案用固态晶体来取代气体，具体是用Yb:YAG晶体作为起点，产生1030nm的基频光，然后通过多次谐波转换和光学参数放大，生成258nm和1553nm的两束光，最后在LBO晶体里混合，输出193nm的激光。功率目前是70mW左右，频率6kHz，光谱纯度很高，半峰全宽只有0.11pm，这指标已经接近商用水平，能满足3nm制程的需求。

为什么说这技术前景大？首先，它绕开了ASML的专利墙。ASML的EUV和DUV技术有上万项专利，很多核心部件来自美国公司，比如Cymer的光源供应商，本来就是美国企业，后来被ASML收购，但还是受美国禁令影响。中国这个固态方案从结构到材料都变了样，不用气体，避免了那些专利纠缠。结果呢？中国可以自己建系统，不用再求着买国外设备。

其次，结构简单多了。传统光刻机体积庞大，像个小房子，12米长、7米宽、4米高，里面零件复杂得要命。中科院这个固态光源能把整体体积缩小30%到50%，能耗降70%，这意味着生产成本低，维护容易，对工厂来说是实打实的节省。

第三，在性能上，它让DUV光刻机能干EUV的活。通过多重曝光技术，用这个光源就能制造7nm甚至3nm芯片，不必非得依赖EUV。这就等于给中国芯片产业开了条侧门，美国的制裁效果打折。

当然，这技术不是完美无缺。目前功率还低，只有ASML准分子激光的0.7%，频率也只是人家的三分之二，短期内没法支撑大批量生产。但这只是实验室阶段，迭代空间大得很。团队已经在优化晶体放大效率，引入新泵浦源，预计两年内能推到工程验证。上海微电子设备公司已经开始适配测试，如果顺利，很快就能进生产线。

更酷的是，他们还加了涡旋光束元素，用螺旋相位板把光转成携带轨道角动量的形式，这在全球是首创，能用在量子芯片光刻和超精密缺陷检测上。国际光学工程学会已经认可了这成果，发表在专业期刊上，荷兰媒体甚至说这是中国在ASML盲区里开的战场。

回过头看温尼克的预言。他在2013年上任CEO前，是ASML的CFO，管财务那套，从1999年就开始在公司干活。2023年那次采访后，他的观点在行业里搅起波澜。ASML当时正被荷兰政府管着，不能卖EUV给中国，温尼克在财报会上反复说，全球供应链不能断，中国市场对他们很重要。

但现实是，美国捏着核心技术，ASML也没法完全自主。温尼克2024年4月退休时，公司市值已经很高，但他留下的那句话，现在看像是个警示。继任者克里斯托夫·富凯接手后，ASML还在推高NA EUV，但中国这边的动静让他们得警惕。

从全球格局说，这突破可能重塑半导体产业链。中国占全球70%的成熟芯片产能，如果固态DUV量产，ASML在14nm到65nm的市场份额会受冲击。中国企业像华为和中芯国际，已经在用多重曝光等技巧绕路子，现在加了这个光源，3nm工艺指日可待。

这不光是技术事，还牵扯经济。光伏和高铁上，中国就用过换道超车策略，现在芯片也可能复制。哈工大之前试过Z箍缩技术做EUV光源，但还是基于传统路子，没这个固态方案彻底。

挑战还在后头。功率要提升到百瓦级，稳定性得过工业关，得24/7跑不停。产业链整合也关键，光源得和光学系统、双工作台配上，中国光刻全链路能力在考验中。国际上，ASML CEO曾说中国十年内搞不出EUV，但现在DUV固态这步，让他们的话有点站不住脚。德国《明镜周刊》评论，这是对西方精密制造的讽刺。

前景大不大，得看落地。短期内，中国芯片自给率会升，减少对外依赖。长期看，如果EUV上也用固态思路，更先进芯片不是梦。行业专家分析，这技术不只光刻，还能扩展到其他光电领域，像激光加工和医疗设备。全球半导体市场值万亿美元，中国这步棋下得稳，ASML得调整策略。

ASML垄断多年，但中国不甘心被卡脖子，搞出自己的路子。前景很大，但也得一步步来。芯片业竞争白热化，谁笑到最后，还得看谁迭代快。温尼克退休了，但他的预言像个提醒，创新不分国界，谁被逼急了，谁就可能爆发出惊人能量。中国这个固态光源，就是个例子，前路光明，但得实干。