2019年的时候,美国开始限制中国购买高端光刻机,主要针对的是ASML公司的EUV设备,理由是担心中国用这种机器制造出过于先进的芯片,中芯国际订购的那台EUV设备在港口滞留了好几年,最终这个举措没有限制住中国的发展,反而影响了美国自己原本想控制的节奏。
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到了2022年10月,美国把限制范围往下推了一层,连DUV浸没式光刻机也纳入管制,这种设备大家本来觉得不算什么大事,能做14纳米以上制程的芯片,算不上多先进,但美国一出手,荷兰在2024年初也跟着实行许可证制度,专门针对那些能做出7纳米以下芯片的DUV型号,结果中国客户反而更积极下单了。
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2022年中国是ASML的第三大客户,贡献了15%的销售额,到了2023年,这个比例大幅上升至近一半,相当于购买了约200台DUV设备,进入2024年第二季度,订单占比仍保持在49%,主要由于企业担心未来供应受限而提前备货,到2025年第三季度,比例虽降至42%,但全年累计接收设备超过300台,不仅中芯国际持续采购,长江存储、锐石创芯、鼎泰匠芯、上海微电子等多家公司也在利用ASML设备扩大生产,显示出中国半导体行业整体的采购力度和布局。
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ASML那边的反应很有意思,2023年4月他们说大部分DUV设备没有用到美国零件,影响不算大,CEO温尼克还强调ASML是一家欧洲公司,遵循的是欧盟的规定,到了2024年新上任的CEO富凯对彭博社直接表示,这些限制更多是经济竞争的手段,而不是出于安全考虑,他还承诺不会中断对中国客户的维护服务,2024年底美国加强了对部分零部件的审查,ASML只是简单回应说这在他们预料之中,2025年1月荷兰政府进一步说明,大多数对华销售其实不属于“双重用途”产品范围,相当于悄悄留出了一条通路。
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这件事关系到整个供应链,ASML的机器需要用到中国产的稀土磁铁,虽然现在库存还够用,但长期来看确实存在风险,欧洲那边态度也出现变化,英国没有完全排除华为,法国和德国在2025年还想和华为合作建设5G和光通信系统,不想把现有设备全部拆掉重来,苹果和高通在2025年上半年已经在中国投入超过50亿美元,资本不仅没撤走,反而继续加码,ASML也没有停止销售最先进的EUV光刻机,DUV型号仍然正常供货,这不是技术问题,而是为了维持业务运营。
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美国试图通过“小院高墙”限制中国芯片发展,但中国购买DUV设备主要是为了生产28纳米以上的成熟制程芯片,用于汽车、家电和工业控制这些大众产品领域,并不涉及5纳米这类尖端工艺,这种产能扩张反而促使全球芯片价格下降,压缩了美国企业的利润空间,企业终究需要追求盈利,ASML不听从美国指挥也显得合理,中芯国际和华为计划在2025年推进自己的光刻机研发,但目前仍依赖ASML来支持产能提升,毕竟时间和市场都不会等待。
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