国家级科创平台国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）落户松江

10月30日，国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）正式落地松江。这是继去年5月24日同济大学长三角g60科创走廊研究院揭牌后的又一重大进展，也是研究院前期建设的重点内容。该中心由同济大学牵头，联合张江实验室筹建，聚焦集成电路微纳检测设备的国产替代计量测试需求，将立足松江、辐射长三角，致力于为国产集成电路精密仪器仪表厂商提供“三全一前”的计量技术服务，努力提升芯片产业链自主可控水平和产业韧性。

锻造“中国标准尺”：

从依赖进口到自主可控

以制造一颗7纳米芯片为例，需要测量的精度达到头发丝直径的十万分之一（约0.1纳米量级）；而计量的精度比测量还要高一个数量级，需要优于0.01纳米量级。就像用尺子裁剪布料，如果尺子本身刻度不准，做出来的衣服必然大小不一；而对于芯片制造来讲，在如此小的尺度上的“大小不一”会直接导致芯片废品率上升。而长期以来，我国芯片制造使用的这把“标准尺”——晶圆级标准物质，一直依赖美国和欧洲提供，芯片纳米制造过程中的纳米标尺长期溯源到国外，为集成电路产业国产替代发展埋下安全隐患。

计量测试中心的成立，就是要解决这个“卡脖子”问题。依托同济大学在量子化光晶格常数领域的原创突破，中心开发出三项核心技术：量子化光晶格常数精准复现新方法、量子化光晶格常数嵌入的现场计量新仪器、量子化光晶格常数修正的晶圆标准片制造新技术。这套创新技术研制了国家一级标准物质5项，包括我国首个纳米级角度国家一级标准物质；研制成功我国首批高端仪器装备计量测评装置，研发了系列高精度的晶圆级标准物质，其中涵盖光栅、栅格、线宽、台阶、膜厚、定位、缺陷等多个参量，构建了以量子化实物光栅为传递标准的纳米计量新体系，让中国芯片纳米制造拥有了自己完全独立溯源的“纳米标准尺”。

今年1月，该技术被工业和信息化部遴选为第一批先进适用技术，成为集成电路制造领域唯一入选项目。这一认可，标注了技术的含金量，也昭示着产业的新未来。

中心将与产业深度对接，提供“三全一前”纳米计量技术服务——全产业链、全寿命周期、全溯源链覆盖，并具备前瞻性研究能力，构建起集成电路产业专用自溯源纳米长度计量技术体系，为实现“中国尺量中国芯”提供“同济方案”。

新型研发机构发力：

从科研到产业的“最后一公里”

计量测试中心的成功落地，离不开同济大学长三角g60科创走廊研究院这一新型研发机构的孵化培育。去年5月揭牌以来，研究院聚焦高端智库、人工智能、产学研融合发展、卓越人才培养等四个维度，依托同济大学深厚的学术积淀和松江区旺盛的产业需求，搭建起科技成果转化的快速通道。

为推动项目落地，g60创新研究中心会同区科委、区经委、区财政局、g60科创集团等部门协同发力，在政策扶持、资金保障、场地配套等方面给予全方位支持，为中心建设铺平了道路。

效果图

空间布局上，研究院构建了“一体两翼”功能格局：计量测试中心坐落于科大智能产业园地块，专注研发、中试和测试服务平台建设；研究院科创之眼地块则聚力科学研究、成果转化、产业孵化与卓越工程人才培养，形成创新链、产业链、人才链的有机衔接。

“我们将聚焦核心技术攻关，支持科学技术研究院、物理科学与工程学院等部门围绕晶圆级纳米标准物质研发等关键方向持续突破。”同济大学相关负责人表示，学校将依托同济创新创业控股有限公司等平台，对接g60科创走廊供需清单，让更多科研成果在松江落地生根、开花结果。

当天，国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心产业化公司筹建同步启动，标志着研究院以计量链驱动牵引产业链发展的战略构想正式落地。

当前，松江正加快构建以“2+4”为核心的现代产业体系。“2”即新一代信息技术、高端装备两大千亿级主导产业；“4”即先进材料、生命健康、时尚消费品、文旅影视四大百亿级特色产业。它们协同发力，共同构筑起松江现代产业体系的“四梁八柱”。

数据显示：全区仪器仪表产业链已形成涵盖整机设备、传感器件、系统集成、计量检测等关键环节的完整生态，相关企业接近400家，2024年规上工业总产值达86.26亿元。集成电路产业同样表现强劲，2024年全区规上产值达242.04亿元，同比增长5.6%，覆盖设计、制造、封测、材料和设备全链条，产业集群效应日益显现。

“我们将围绕松江区‘2+4’现代化产业体系，聚焦集成电路、仪器仪表、先进材料和卫星互联网四大方向，采用‘揭榜挂帅’、联合研究等方式，完善项目团队从同济大学到研究院的引入机制。”g60创新研究中心主任贾占锋勾勒出清晰的发展蓝图，“成熟一个引进一个，构建‘企业出题目、同济有学科、园区有产线、g60有场景’的新型创新联合体，通过三期建设打造科技创新推动产业创新的标杆，赋能战略性新兴产业，孕育未来产业。”

记者：韩海峰 高雨

部分图片受访者供图

编辑：周加姚

审核：颜瑾 朱俊辉

上观号作者：上海松江