“纳米慧眼”，全国发明金奖！

近日

清华SIGS副教授李星辉团队的科研项目

在全国发明展览会上斩获金奖

这项让工业母机拥有“纳米慧眼”的突破

相当于以地球直径为基准进行比拟

能清晰探测到约一粒花生米的细微变动

这一“神技”让微观尺度的极限精准测量

不再遥不可及！

近日，第二十九届全国发明展览会在石家庄国际会展中心（正定）举办，清华SIGS副教授李星辉团队的参展项目“原子级精度多维光栅干涉仪”荣获金奖。

团队代表崔璨（左五）作为北京展团金奖代表上台领奖

原子级精度光栅干涉仪的突破，标志着工业精密测量进入新阶段。面向集成电路、高端仪器和原子级制造等“十五五”规划重点布局领域，李星辉团队开发了原子级、多维度、外差式的光栅干涉仪，通过设计“零死区”的光学测量原理，突破了原有技术中“精度-维度-集成”无法兼得的瓶颈，攻克了衍射光栅加工、光机系统集成、GHz级解算电路和高功率双频光源四大难题，搭建了全流程自主研发的工程样机。该技术如同为高端工业母机赋予了可洞察微观的“慧眼”，在百毫米量程下实现0.1纳米的测量精度。这一精度尺度若以地球直径（约12742公里）为基准进行比拟，相当于能够清晰探测到约一粒花生米的细微变动，意味着微观尺度的极限精准测量将成为可能。

李星辉团队成员在与评委专家沟通交流

相关成果申请发明专利30余项，连续获得国家自然科学基金等项目资助，在国内头部企业进行落地验证，并获得《麻省理工科技评论》等权威媒体报道。李星辉为该项目的第一发明者，清华大学为唯一完成单位。

项目概况和获奖证书

全国发明展览会由中国发明协会组织举办，被称为“中国科技发明第一展”。首届全国发明展览会于1985年10月9日在北京开幕，迄今为止已成功举办29届，已经成为国内发明领域规格最高、影响力最大的展览会之一，是国内以发明创新为主题的大型科技展会。本届展会以“发明创新，引领数字经济发展”为主题，参展项目涵盖了智能制造、生物医药、绿色科技、民生服务等多个领域。

祝贺获奖团队！

上百颗“火种”诞生！这场大赛如何促成产学研用“最佳CP”？

清华SIGS两个团队，双双一等奖！

祝贺清华SIGS学子！全国特等奖！

文/图|李星辉 崔璨

编辑|吴鸿瑶

审核|聂晓梅 林洲璐 叶思佳

排版|胡静雯