上海
《科创板日报》10月28日讯 随着钨价飙升，六氟化钨（WF6）供应商已经向韩国半导体制造企业提出大幅涨价要求。
据The Elec消息，SK Specialties、Foosung、日本关东电化（Kanto Denka）等主要WF6生产企业，近期已向三星电子、SK海力士、东部高科、麦格纳等韩国半导体制造商表示，自明年起供应单价将上调70%-90%。
一位业内人士表示：“钨价在短短五个月内上涨一倍，原料成本压力显著增加，这是涨价的主要原因。日本系气体企业还以汇率等因素为由，要求涨价约90%。”该人士还指出，“由于半导体厂商也清楚钨价暴涨的现状，因此大多觉得可能不得不接受涨价。”
“WF6价格暴涨并非暂时性冲击，而是供应结构变化的直接反映。”另有业内人士分析本轮涨价。
作为氟与钨形成的无机化合物，WF6是密度最大的气体之一。半导体制造中，六氟化钨主要用于电子工业中金属钨化学气象积淀工业（CVD）工艺，其可在晶圆表面沉积钨金属，填补通道与孔洞，形成芯片内的导电连接层，是制作逻辑芯片、DRAM和3D NAND的关键材料。
招商银行研究院指出，2022年以来我国含氟特气的自主供应能力显著提升，国产化率达到50%。
用量最大的三氟化氮和六氟化钨方面，国内已有中船特气、南大光电、昊华科技等企业陆续向台积电、中芯国际供货。
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