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案例:某光伏电池片生产厂酸性废气处理项目
项目背景
该太阳能厂位于华东地区,主要生产单晶硅光伏电池片,年产能达2GW。在生产过程中,制绒、扩散、刻蚀等工序会产生大量酸性废气,若不妥善处理将严重影响周边环境。
废气成分及来源
废气主要来自以下环节:
制绒工序
:使用氢氟酸(HF)和硝酸(HNO₃)混合液对硅片表面进行腐蚀,产生含氟化氢、氮氧化物(NOx)的废气。
扩散工序
:磷扩散过程中使用的POCl₃在高温下分解,生成含磷化合物和氯气(Cl₂)。
刻蚀工序
:去除边缘PN结时产生的含氟化氢废气。
废气主要污染物浓度为:HF 50-80mg/m³,NOx 100-150mg/m³,Cl₂ 20-40mg/m³。
处理工艺流程
采用"两级喷淋洗涤+活性炭吸附+高效除雾"组合工艺:
一级喷淋塔
:采用5%氢氧化钠溶液中和酸性气体,去除90%以上的HF和部分NOx。
二级喷淋塔
:添加专用氧化剂,将NOx转化为易溶于水的硝酸盐。
活性炭吸附塔
:去除残余的有机污染物和异味。
高效除雾器
:采用PP材质折流板除雾,确保排放气体无可见水雾。
关键设备参数:喷淋塔直径2.5m,填料高度3m;活性炭吸附塔空速控制在0.3m/s。
最终效果
经处理后,排放气体中HF浓度<1mg/m³,NOx<30mg/m³,Cl₂<1mg/m³,均低于《电池工业污染物排放标准》(GB30484-2013)限值。系统运行稳定,年处理废气量达1200万立方米,回收氟化钠副产品约15吨/年。
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