北京
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来源：市场资讯
（来源：科创100ETF基金）
光刻机概念股局部走强，凯美特气（002549）、新莱应材（300260）双双涨停，波长光电（301421）、海立股份（600619）、百傲化学（603360）、旭光电子（600353）跟涨。
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