《揭秘！薄膜厚度测量仪的极限——究竟能测多薄的膜？》

在现代材料科学与制造技术飞速发展的当下，薄膜材料在众多关键领域得到了广泛应用，这使得对薄膜厚度进行高精度测量的需求愈发迫切。航鑫光电凭借其在检测技术领域的深厚研发实力，成功推出 FILMTHICK - C10 系列 膜厚测定仪，为薄膜厚度测量技术带来了新的突破。

技术原理：基于光波干涉的精确测量

FILMTHICK - C10 系列 膜厚检测仪 的核心技术基于光波穿透样品膜层并解析反射光相位差的原理。该设备发射不同波长的光波，使其穿透样品膜层。当光波遇到膜层的上下表面时，会发生反射，上下表面反射光之间会产生相位差。根据光学干涉原理，当相位差为波长的整数倍时，反射光会产生建设性叠加，此时反射率达到最大值；而当相位差为半波长时，反射光会出现破坏性叠加，反射率降至最低。通过高精度的光学传感器精确测量这些相位差，并结合已知材料的光学常数（如折射率 n 和消光系数 k），可以构建光学系统的反射率函数 R(λ, d, n, k)，进而通过数学算法计算出薄膜的厚度 d。这种基于光波干涉的测量方法，从根本上保证了测量的高精度和可靠性。

技术优势体现分波段拟合算法提升精度

航鑫光电在 FILMTHICK - C10 系列中采用了先进的分波段拟合算法。该算法通过对不同波段的反射光数据进行独立分析和拟合，能够有效减少测量误差，显著提高测量精度。设备实现了 1Å 的超高分辨率，这一精度在行业内处于领先水平。例如，对于几纳米厚度的金属膜测量，传统测量方法往往难以达到理想的精度，而 FILMTHICK - C10 系列凭借其高精度的测量能力，能够准确测量此类超薄金属膜的厚度。

多层膜测量能力的突破

传统的薄膜厚度测量设备在多层膜测量方面存在一定的局限性。而 FILMTHICK - C10 系列舍弃了传统的 LED 光源，采用光强均匀、频道稳定的氘灯和钨卤素灯作为光源。这种光源的改进使得设备能够支持单层膜、多层膜、液态膜、气隙层、粗糙/光滑层以及折射率的测量，最高可测 10 层膜。这种多层测量能力不仅扩大了设备的测量范围，使得一台设备能够替代多台传统设备的功能，而且提高了测量结果的精准度，减少了因多次测量带来的误差。

多场景配置的灵活性

FILMTHICK - C10 系列具有高度的场景适应性，支持离线式、在线式、Mapping 模式、全自动等多种测量场景。航鑫光电还能够根据客户的实际应用需求进行客制化配置，为不同行业的客户提供量身定制的测量解决方案。在售后方面，航鑫光电的专业团队提供调试服务，并协助客户进行软件开发，确保设备能够完全满足客户在实际生产和研究中的额外需求。

行业应用：多领域的解决方案

FILMTHICK - C10 系列 测厚仪 在多个行业都有广泛的应用，为各行业的薄膜厚度测量提供了有效的解决方案。

• 精密光学行业：在精密光学元件制造中，二氧化硅膜和氟化钙膜等薄膜的厚度对光学性能有着至关重要的影响。FILMTHICK - C10 系列能够精确测量这些薄膜的厚度，确保光学元件的性能符合设计要求。

• 半导体行业：半导体制造过程中，量子点芯片、光刻胶、GaN 涂层等关键材料的厚度控制直接影响芯片的性能和良率。该设备能够准确测量这些材料的厚度，为半导体制造工艺的优化提供重要数据支持。

• 新能源/光伏行业：在新能源和光伏领域，钙钛矿、ITO 等材料的薄膜厚度对电池的光电转换效率有着重要影响。FILMTHICK - C10 系列可以精确测量这些材料的厚度，有助于提高电池的性能和生产效率。

• 显示面板行业：显示面板制造中，涂布膜、微流道等薄膜的厚度均匀性对显示效果至关重要。该设备能够对这些薄膜进行高精度测量，保证显示面板的质量。

• 刀具行业：刀具表面的镀膜层能够提高刀具的硬度、耐磨性和耐腐蚀性。FILMTHICK - C10 系列可以准确测量镀膜层的厚度，确保刀具的性能达到最佳状态。

• 高分子材料行业：对于高分子材料行业中的 PI 膜等薄膜，该设备能够满足高精度的厚度测量要求，为材料的研发和生产提供可靠的测量数据。

在某科研机构的一项研究中，需要对硅片表面镀的几纳米厚的金属镍膜进行精确测量。航鑫光电的 FILMTHICK - C10 系列 膜厚测试仪 被应用于该项目。测量结果显示，Ni 膜的厚度约为 3.5nm，测量数据的匹配度达到了 0.009081。这一结果充分展示了该设备在超薄金属膜测量方面的卓越性能。

PI 膜高精度测量案例

在某企业的生产过程中，需要对陶瓷基板和铜上的 PI 膜进行高精度测量，精度要求达到 0.1nm。FILMTHICK - C10 系列 膜厚测试仪 对陶瓷基板上的 PI 膜测量结果显示，膜厚为 4602.4nm，匹配度为 0.009079；对铜上 PI 膜的测量结果显示，膜厚为 29657.2nm，匹配度为 0.291977。这些数据再次证明了该设备在多层膜测量方面的精确性和可靠性。

综上所述，航鑫光电的 FILMTHICK - C10 系列 膜厚测定仪 凭借其先进的技术原理、卓越的技术优势以及广泛的行业应用，为薄膜厚度测量领域带来了新的技术突破。它不仅满足了当前各行业对薄膜厚度高精度测量的需求，也为未来薄膜材料的研发和应用提供了强有力的技术支持。

#测厚计 #膜厚测定仪 #膜厚检测仪 #测厚仪 #膜厚测试仪