上海
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2025年9月29日，半导体设备ETF（561980.SH）收涨1.71%，成交4.82亿元。获融资买入9959.30万元，融资偿还3505.33万元，融资净买入6453.98万元，居可比基金首位。
拉长时间看，该基金近2天杠杆资金加速流入，合计流入9909.28万元，居可比基金首位。
半导体设备ETF（561980.SH），场外联接(A类：020464；C类：020465）。
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