精密制造有了“定制化”地震预警

本报记者 喻思南

陕西西安高新区，三星(中国)半导体有限公司厂区周边，有一栋灰色小屋。“这是高灵敏的地震监测站点，这里采集的数据能够为厂区提供精细的地震预警信息和震动观测服务。”陕西省地震局高级工程师赵韬说。

对半导体生产来说，精细的地震预警服务能够保障生产稳定运行。以半导体为代表的高精密制造产业，生产设备精密、生产流程复杂，对地表震动极其敏感，对地震安全处置要求特殊、严格。

10多年前，三星(中国)半导体有限公司在西安建厂，防范地震风险就是重要考虑因素之一。“我们对厂房进行了减隔震设计，生产设备本身也有减震装置，有效过滤了噪声震动对生产的影响。然而，仍有些远场大震对设备正常运行产生影响。”三星(中国)半导体有限公司防灾部部长宋英华说。

中国地震局工程力学研究所研究员曲哲介绍，保障精密生产使用的大尺度隔震槽、气垫等隔震装置，虽然能有效应对一些较小的高频震动，但难以应对远场大震长周期面波的影响，“这种地震波衰减慢、频率低，人几乎察觉不到，却对精密制造影响不小。”

了解到精密生产的痛点后，陕西省地震局与三星(中国)半导体有限公司深入对接，为企业提供了基于微震动指标的定制化地震预警。“我们这个预警信息能对影响高精密生产的微小地震及时反应，在地震波抵达厂区前告知企业可能的影响等级。”赵韬说。

要进一步应对长周期面波，必须搞明白其周期、振幅大小等参数，从而精确划分地震预警等级。2022—2023年，陕西省地震局在三星(中国)半导体有限公司厂区周边，建设了由3个地震监测站点组成的专用台网。台网综合了加速度、速度观测，采用无线网络实时回传至陕西地震预警中心。基于该台网的地震观测数据，陕西省地震局与中国地震局工程力学研究所合作开展深入分析，明确了影响精密制造的地震动特征。上述信息也进一步帮助企业持续优化调整生产设备地震动响应阈值，提升产线生产的稳定性。

“精细化地震预警信息为精密制造产业应对地震风险的决策提供了科学参考。”赵韬介绍，通过捕获、分析多次对精密生产企业造成影响的地震事件波形，还能快速评估地震波对生产的影响等级，帮助企业快速恢复生产。

陕西省地震局党组成员、副局长杨峰介绍，针对高精密生产企业的地震安全处置服务标准仍存在空白。为了帮助更多精密生产企业更加从容、有序应对地震，陕西省地震局总结服务经验，牵头编制了《高精密生产企业地震紧急处置服务技术指南》。精密制造是西安市支柱产业之一，除三星(中国)半导体有限公司外，西安奕斯伟硅片技术有限公司、龙腾半导体股份有限公司等精密生产企业也引入了定制化的地震预警服务。

保障精密生产是国家地震预警工程的众多行业应用场景之一。2024年7月，该工程顺利通过验收，标志着我国建成全球最大规模的地震预警网。为充分发挥地震预警网的减灾潜力，地震部门持续推动地震预警服务经济高质量发展。该工程已经在交通、水利、电力等重大战略基础设施和生命线工程得到应用。

《 人民日报 》( 2025年09月18日 12 版)