Bumping工艺中的1P1M,2P2M,3P3M指的是什麼?
M(Metal Layer):每块基板中用于布线的金属层数量。
P(Passivation):金属层与晶圆中器件之间的绝缘层/钝化层/介电层,有的地方这个P用的是PI(聚酰亚胺),也没问题,因为PI就是常用的绝缘层,也有的是用PBO(聚对苯撑苯并二噁)为绝缘层。
PMM/MPM:金属层与绝缘层(Passivation)的排列顺序(PMM = Passivation-Metal-Metal,MPM = Metal-Passivation-Metal)。
1P1M(单层钝化层 + 单层金属层)
当然,还有0P1M,0P2M的结构,图片来源Zhihu
2P2M(2层钝化层 + 2层金属层)
3P3M(三层钝化层 + 三层金属层)
下面通过一张表总结下这三种结构的差异。
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