小车开上“天花板”，1mm精度+5.3m/s，AMHS国产化替代再加速

近日，全球领先的AMHS设备和软件整体解决方案提供商苏州新施诺半导体设备有限公司（下简称“新施诺”）受邀参展第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC）。本届CSEAC展会聚焦半导体上游制造行业。展会期间，新施诺展台吸引了产、学、研、媒体等多方关注。

在苏州高新区的新施诺半导体设备有限公司的总部工厂里，天花板上的天车沿着纵横交错的轨道来回快速移动，承担着吊起、传送、存储、再传送以及设备检修时的物料搬运等工作。作为自动物料搬运系统（AMHS）中最核心的搬运设备之一，天车所在的整个AMHS系统涵盖了搬运、通信、存储、净化等各类硬件装备和相应软件，其应用范围贯穿半导体生产的前道、中道和后道工序，如今已成为多数12英寸半导体晶圆厂的必备配置。

近年来，随着半导体晶圆厂由8英寸生产线向12英寸生产线升级，工艺流程复杂度不断增加，传统的人工搬运方式在效率、失误率、洁净度等方面已难以满足生产需求。此外，人工搬运引起的震动也会影响晶圆良品率。因此，不少工厂希望能有一套速度更快、搬运量更大、稳定性更高又兼具所占空间更小、震动更小的搬运系统。

“新施诺是国内唯一成功在客户工厂实现超过200台车应用案例的国产天车系统供应商，实际应用轨道已达到20公里以上，同时已在模拟测试环境中具备单厂超1000台天车同时调度的规模。”在苏州新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉看来，新施诺AMHS的迭代升级契合了半导体设备国产自主研发建设目标，目前进化到了第五代。

谈及新施诺第五代天车系统的技术亮点和优势时，王宏玉表示，为了减少搬运震动引发的晶圆破损，搬运重复精度控制在1mm以内，搬运过程载具振动峰值不超过0.5G，且关键取放过程中实施多重防护；天车运行速度提高至每秒5.3米，抓取时间仅需数秒，就算是长距离跨区域传送，通常整周期也控制在3分钟内……通过这些技术提升，新施诺的AMHS系统能够在安全、高效、稳定的前提下，降低运营成本，加速国产化替代的进程。

比如在半导体工厂内的天车系统在天花板上有序运行，是硅片和晶圆制造流程的重要组成部分，贯穿整个生产工序。一旦AMHS系统故障，将影响物流传送，严重的话，可能会导致整厂大面积生产停工待料。因此软件扮演着AMHS系统“大脑”的角色，避免了天车在运送过程中的拥堵现象，确保了物料运输的最优路径选择。

“大规模智能制造的程度越来越高，需要AMHS系统更高效、更智能化、更节约。除了半导体晶圆厂，面板工厂及新能源电池厂也在逐步使用全套AMHS系统。”王宏玉表示，“后续公司还将不断通过国内外协同研发及供应链整合，升级AMHS系统解决方案。”

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栏目编辑：吕倩雯

来源：作者：新民晚报记者 唐闻宜