激光驱动光源 (LDLS)特点介绍及其应用

　　激光驱动光源 (LDLS) 是美国 Energetiq Technology inc. 开发的创新光源，该公司是滨松光子学株式会社的子公司。LDLS 是世界上唯一利用聚焦激光光束在氙气灌注灯泡的放电电极之间生成和维持等离子体的光源。

　　特点

　　波长范围极广

　　从真空 UV 至可见光和近红外(170 nm 至 2500 nm)的宽发光波长范围

　　●我们已经确认波长辐射是 170 nm 至 2500 nm，但我们尚未获得光谱辐射照度数据小于 200 nm 和大于 2400 nm 的波长带。

　　使用寿命长

　　灯泡使用寿命为 10,000 小时

　　这是在 500nm 光输出条件下测量得出的 EQ-99X-QZ-S 使用寿命典型值。

　　小等离子体提供高辐射照度

　　直径为 0.1 mm 的发光点具有高辐射照度

　　产品技术

　　借助激光维持高温等离子体

　　激光产生的高温等离子体发射的跨越紫外到近红外区域的光谱几乎是扁平的，并且辉度比氙气灯高得多。

　　不会造成放电电极磨损的发光技术

　　LDLS 仅在照明开始时使用灯泡中的两个放电电极。之后，在电极之间保持等离子体的同时，电极绝对没有磨损。因而与完全使用和消耗电极以维持照明的传统光源相比，灯泡的使用寿命非常长。

　　发光点非常小

　　由于只在激光聚焦点发光，因此与氙气灯相比，发光点非常小。这提供了许多好处，例如将光聚焦在一小点上、有效利用光和抑制杂散光。

　　当对传统光源发出的光进行准直时，通常会出现光束发散或角度变宽的问题。

　　LDLS 可以形成理想的平行光，其发散角度小于氙气灯。小发光点也有利于将光有效地聚焦到非常小的区域。

　　UV - 可见光 - 近红外光谱测量

　　光学产品评价(例如：滤波器、透镜)

　　材料评估(例如：珠宝、塑料)

　　应用领域：半导体检查

　　在半导体检查中，需要更高强度的紫外光源来进一步缩短检查时间，并提高检查晶圆上形成的图案和薄膜的过程的准确性。对波长更短的紫外线光源也有较大需求，以适应未来半导体器件制造的工艺缩减。LDLS 是满足这些需求的最佳光源，因为它在广泛的光谱范围内提供出色的亮度，并具有较长的使用寿命。

　　除了 LDLS，滨松光子学和 Energetiq 还提供全系列高性能光源，包括极紫外线 (EUV) 光源和氙灯，以应对半导体检查设备市场不断变化的需求。膜厚测定，基板涂层检查，沉积测量。