北京
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天眼查APP显示，近日，上海盛剑科技股份有限公司申请的“一种分子泵系统”专利公布。 摘要显示，本发明提供了一种分子泵系统，涉及真空技术领域，包括第一分子泵和第二分子泵。其中，第一分子泵包括第一泵壳组件和设置于第一泵壳组件内的第一电机、第一转子轴以及第一动叶片。第二分子泵包括第二泵壳组件和设置于第二泵壳组件内的第二电机、第二转子轴以及第二动叶片。第一泵壳组件与第二泵壳组件连接，使得第一分子泵和第二分子泵连接。为确保第一分子泵的正常运行，第一动叶片的叶片总质量小于第二动叶片的叶片总质量，以减轻第一电机的负载，以使第一分子泵能够在大气条件下启动并完成初步抽气。另外，第一分子泵替换了相关技术中的干泵，省去了与干泵连接必须的复杂元件和管路，大幅简化了分子泵系统的结构，减少了占地面积。
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