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瞭望 | 一座城打造一个“谷”

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  蚌埠绘制产业链招商图谱,围绕上游传感器芯片研发设计和技术服务、中游MEMS晶圆制造和封装、下游终端器件和模组加大“双招双引”,初步构建起智能传感器材料、设计、制造、封装、测试和应用的全产业链生态

  蚌埠“中国传感谷”与合肥“中国声谷”、芜湖“中国视谷”共绘人工智能产业新版图,“三谷”纵横联动、跨界协同,加速“人工智能+”产业落地

  文 |《瞭望》新闻周刊记者 王菲

  拥有一个“上得厅堂,下得厨房”的“机器人管家”是不少人的梦想,而要让机器人在现实场景中像人类一样灵动自如,拥有触觉、视觉、听觉、嗅觉等多模态感知系统,离不开高精度传感器的支撑。

  随着AI新技术、新应用快速发展,现代工业体系的“神经元”——传感器加快向智能化、微型化、集成化迭代升级,赛迪顾问公布的数据显示,2024年,全球传感器市场规模突破2000亿美元,同比增长8.1%。

  地处淮河之滨的蚌埠市早在20世纪90年代就已是中国三大传感器制造基地之一。抢抓AI时代传感器产业发展风口,蚌埠市依托传感器领域的科研技术优势和多年的产业积淀,提出“科研院所带动产业发展、驻蚌高校共建产业园区、每个企业都拥有核心技术”的思路,推动传感器产业提“智”升级,全力打造“中国传感谷”。

  聚力成“谷”

  近日,记者走进位于蚌埠经济开发区的“中国传感谷”,一座座现代化厂房拔地而起,咖啡馆、运动场点缀在绿树浓荫间,四通八达的园区道路上运送物料的车辆有序穿梭,AI时代产业转型升级带来的机遇,正在点燃一座老工业城市的梦想和活力。

  “作为老工业基地,蚌埠传统传感器企业数量多,但产品集中在中低端市场,还不能满足复杂的高端应用需求。”蚌埠经济开发区管委会主任陶广生说,抢抓人工智能时代机遇,传感器产业提“智”升级势在必行。

  安徽北方微电子研究院“扎根”蚌埠46年,上世纪90年代涉足微纳制造领域,是国内最早研究微纳制造技术的单位之一。随着微电子领域发展提速,研究院迫切希望深度融入地方产业布局,加快科研成果转化。

  2021年,蚌埠市牵手安徽北方微电子研究院启动建设“中国传感谷”,按照“一谷三园多址”产业集群总体布局,“三园”即MEMS(微机电系统)核心器件产业园、科技孵化园、中央创新园,打造集研发、设计、制造、封装、测试于一体的国内一流、国际知名的智能传感器产业集聚区。

  攻坚智能传感器核心技术,成为立谷之基。依托安徽北方微电子研究院等链主企业,蚌埠构建“企业+科研机构+高校”深度协同创新体系。

  MEMS晶圆制造是高端传感器的“技术底座”。蚌埠联合华东光电集成器件研究所、安徽华鑫微纳集成电路有限公司、西安交通大学、合肥工业大学、安徽大学、蚌埠学院等十家单位,成立安徽省微机电系统技术产业创新研究院(以下简称“产研院”),通过协同创新,突破MEMS晶圆制造领域的技术瓶颈。

  安徽北方微电子研究院对标国际先进技术加大产学研协同攻关,携手华鑫微纳等企业,建立了6套具有自主知识产权的MEMS晶圆制造工艺技术体系,支撑高性能MEMS智能传感器核心器件的研制。

  5月末,安徽华鑫微纳集成电路有限公司8英寸晶圆生产线首批产品成功串线,这标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在蚌埠正式投产。

  在华鑫微纳的洁净生产车间,记者看到高度智能化的8英寸MEMS晶圆生产线高速运转,仿佛在上演一场光和电的协奏曲。安徽省智能传感器产业创新研究院副院长王世和说,目前蚌埠成为全国为数不多同时拥有MEMS和CMOS(互补金属氧化物半导体)工艺技术、6英寸和8英寸MEMS晶圆制造线的城市。

  有了技术底座,蚌埠重点布局惯性、压力、气体、声学、光电、多参数复合传感器等领域,聚焦人形机器人、智能网联汽车、智慧医疗等应用场景,以企业为主体,通过产学研协同完成多种品类MEMS传感器相关共性关键技术攻关。

  一款新研制的智能传感器从实验室到量产,技术验证必不可少。但不少初创企业反映,花钱建中试产线投入太大,超出企业承受能力。

  蚌埠打造9条公共示范线,为企业提供工艺孵化、工程化试制和测试服务,以此为“桥梁”,构建全链条成果转化服务体系,助推一批科技成果在“谷”里开花结果。

  “科研团队带着原创技术,通过中试生产线快速完成了工程化测试和试生产,并顺理成章落户传感谷。”今年上半年,组建刚半年的安徽北方华鑫智控科技有限公司产值已突破1200万元。

  围绕智能传感器全产业链,蚌埠加快延链补链强链。

  蚌埠绘制产业链招商图谱,围绕上游传感器芯片研发设计和技术服务、中游MEMS晶圆制造和封装、下游终端器件和模组生产加大“双招双引”,吸引芯动联科、希磁科技等200多家智能传感器上下游企业集聚发展,其中专精特新企业40多家,初步构建起智能传感器材料、设计、制造、封装、测试和应用的全产业链生态。

  “隔壁左右就是上下游。一个好想法,大家相互碰撞激发,不少技术难题就这样迎刃而解。”依托“中国传感谷”完善的产业创新生态,蚌埠依爱消防电子有限责任公司攻克高精度火灾烟雾探测、激光传感和复合传感等多个技术难题,并参与多项国家标准的制定,从产业“新苗”逐步成长为行业“龙头”。

  智能传感器产业链条不断延伸,产自“谷”中的惯性、力敏、磁敏、温湿度、位移、加速度、流量、气体、红外等各类传感器,广泛应用在新型显示、新能源汽车、工业互联网、5G通信、无人驾驶、机器人、智能家居、航空航天、低空经济等新兴产业。

  谋划更快发展,蚌埠打造更高能级创新平台。

  依托脑机接口与智能交互技术联合实验室、精密微纳制造技术全国重点实验室长三角(蚌埠)产教融合协同中心、安徽省智能传感器制造业创新中心等高能级创新平台,技术、人才、资金等创新要素加快向“谷”内集聚。

  2024年,安徽北方微电子研究院、芯动联科等企业参与制定MEMS国家标准4项,获批省级科技攻关项目12项;智能传感企业拥有发明专利451件,较2021年增长204.7%;规上智能传感企业产值同比增长55.8%。“中国传感谷”跻身国内十大高质量传感器园区榜单。

  耐心兴“谷”

  护航神舟十八号载人飞船等国之重器的高精度压力传感器、让机器人灵巧手精准抓握的柔性触觉传感器、助力智能驾驶信息交换共享的高性能惯性传感器……走进“中国传感谷”展厅,一款款来自“谷”里的新产品、新技术打开了AI时代的万花筒。

  以耐心支持安徽北方微电子研究院技术积累;以专项基金为产业发展提供长期保障;以恒心为产业筑牢人才—资金—平台基石,“中国传感谷”的发展,离不开蚌埠市的耐心呵护,静待花开。

  蚌埠市建立分层扶持体系,从资金支持、人才引育、海外发展等多方面耐心护航企业成长, 同时,当地构建初创企业—科技型中小企业—高新技术企业—专精特新“小巨人”企业的梯次培育机制,助力科创“小苗”健康成长为“参天大树”。

  对于初创企业,蚌埠市相关部门重点做好资源对接,放资源的“水”养创新的“鱼”,让“小鱼”尽快成长为“大鱼”,帮助科创型中小企业对接高校院所,解决企业技术研发问题,让初创企业“创无忧”;对接基金创投,解决企业发展资金,让初创企业“资不愁”;对接市场平台,解决企业产品商业化专业化,让初创企业“路不堵”。

  针对专精特新“小巨人”企业,蚌埠市重点做好生态优化,全力以赴支持“大鱼”跃“龙门”,让“小巨人”企业成为领军企业,围绕重点企业延链、补链、强链。比如,围绕希磁科技,蚌埠引进富源电子、禹芯半导体等上下游企业,合力为磁传感器研制提供电镀和封测等服务,助力希磁科技发展成为国内磁传感器龙头企业。

  激活人才“第一资源”。蚌埠破除机制藩篱,建立按薪定才评价模式、赋予企业人才认定自主权、鼓励企业柔性引进科技人才、创建省级留学人员创业园,锻造人才“引力场”,2024年,“中国传感谷”共吸引各类人才471名。

  当地与蚌埠学院等高校建立人才共用机制,从高校选派“科技副总”至企业任职,充分发挥科技副总自身与后方高校院所的资源优势,建立更加紧密的产学研合作机制,促进信息共享和资源互补,推动科研成果快速转化为实际生产力。

  定期召开专题调度会,研判产业形势。每月一次,雷打不动,蚌埠市政府主要负责同志主持召开智能传感器产业集群专题会,听取企业意见,为产业发展解难题,出实招。

  在一次调度会上,有企业提出智能传感器研发周期较长,产业资金投入大、产出慢,市场化基金投资机构一般不愿主动参与。

  针对企业提出的问题,蚌埠快速行动,积极与国家集成电路产业投资基金等国家基金资源衔接协同,打造高端智能传感器产业基金体系,引导社会各类风险投资和股权投资基金面向智能传感器领域拓展业务。

  “优化服务做‘加法’,减轻企业负担做‘减法’。”陶广生说,落地项目签约、入驻、建设、投产、运营等全过程,都有专门人员“陪伴式”服务,确保及时化解企业遇到的难题。“坚持问题导向,企业发展的难点就是我们工作的重心。”

  耐心资本精准浇灌。“在技术攻坚的关键时间节点,我们获得了1000万元的基金扶持,及时化解了研发资金不足的难题。”安徽芯动联科微系统股份有限公司负责人说,适应自动驾驶、机器人等领域对高精度传感器的新需求,公司突破高性能硅基MEMS惯性传感器的核心技术,迅速打开市场,并在政府的支持下,顺利登陆资本市场。

  按照“以投带引”“招投联动”“投孵结合”的思路,蚌埠落地运行总规模51亿元的产业基金,引导社会各类风险投资和股权投资基金投早、投小、投硬科技,推动科技、产业、金融在“谷”内良性循环,吸引科友半导体、华安星辰、宏景智驾等一批成长快、科技含量高、市场潜力大的企业入“谷”发展。

  智启“珠城”

  地处淮河中游的蚌埠,古乃采珠之地,被誉为“珠城”。如今,高科技“珍珠”正在点亮“珠城”未来。

  一款仅有指甲盖大小的电流传感器,在现实场景中,既可充当智能操控的“安全员”,也可成为安全监测的“预警器”,这款产品来自“谷”内的国家级专精特新“小巨人”企业——安徽希磁科技股份有限公司。

  公司副总经理王行军说,适应智能网联汽车、深空探测等新兴产业的需求,希磁科技持续投入研发,突破国外技术垄断,打入强手如林的国际市场。

  而安徽华鑫微纳集成电路有限公司晶圆生产线的投产,直接缓解国内MEMS芯片产能缺口,尤其在汽车电子、工业控制等关键领域实现国产化替代,有力保障产业链安全。

  包括希磁科技、华鑫微纳在内,“中国传感谷”已集聚多家领军企业,向产值超千亿元产业集群迈进。

  一座城打造一个“谷”,一个“谷”带飞一座城。2025年上半年,蚌埠市生产总值同比增长5.6%,全市规上工业增加值同比增长8.9%。

  安徽省将智能传感器作为“人工智能+”底层强基的重要方向,蚌埠市抢抓机遇,推动“中国传感谷”与合肥“中国声谷”、芜湖“中国视谷”共绘人工智能产业新版图,“三谷”纵横联动、跨界协同,加速“人工智能+”产业落地。

  “中国传感谷”还牵头成立长三角MEMS与传感器产业创新联盟,为长三角地区MEMS与传感器产业发展搭建合作创新平台,加强产业链关键共性技术攻关。

  从“三谷联动”到区域协同,蚌埠精准定位优势赛道,深度融入国家战略,激活内生创新资源,推动老工业基地向创新驱动转型跃迁。■

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