聚焦山西科创力量！碳方程半导体携金刚石设备登“晋创谷”路演，剑指国产头部

8月6日，一场精准对接科技与资本的盛会在“晋创谷·太原”拉开帷幕。由太原市科技局指导，太原技术转移促进中心、国投晋创谷（太原）发展运营有限公司等单位联合举办的企业科技成果路演活动上，碳方程半导体设备制造(山西)有限公司（以下简称“碳方程半导体”）携核心技术成果精彩亮相，成为全场关注的核心，其前沿的金刚石半导体设备技术与明确的融资需求，展现了山西科创企业的强劲创新活力。

核心技术突破：破解超大尺寸金刚石生长难题

作为专注于金刚石半导体材料专用设备研发的创新型企业，碳方程半导体此次路演的核心是“超大尺寸金刚石半导体材料生长设备”。该设备堪称半导体材料生长的“精密摇篮”，通过一系列技术创新攻克了行业关键难题。

设备采用独创的双微波、四微波矩阵平行输入方式，让微波等离子体实现“矩阵均匀分布”——对称微波源输入配合多条并行石英管馈入，形成稳定的“平行矩阵”均匀馈入模式；更通过电磁场场强值精准计算馈入管间距，以“强—（弱+弱）—强”的逻辑设计实现电磁场“堆叠”。这一系列创新从根本上解决了反应区电磁场均匀性不足、等离子密度不一致的行业痛点，最终实现沉积台温场高度一致，为超大尺寸金刚石半导体材料的稳定生长提供了核心设备支撑。

金刚石半导体材料因具有超高热导率、宽禁带等优异特性，被视为下一代半导体的“潜力新星”，在高频、高温、大功率电子器件领域具有不可替代的应用前景。碳方程半导体的设备技术突破，无疑为我国在这一前沿材料领域的自主研发提供了关键装备保障。

全链条布局：山西基地筑牢创新根基

依托山西在装备制造领域的产业基础与“晋创谷”的创新生态，碳方程半导体已构建起“三地协同”的研发与生产体系。其中，山西太原装备生产基地承担核心设备的制造与组装任务，凭借本地完善的工业配套与技术工人储备，确保设备生产的精度与效率；山西长治工艺研究重点实验室则聚焦金刚石材料生长工艺优化，为设备性能迭代提供工艺验证支持；深圳研发实验室则专注前沿技术研发，保持核心技术的领先性。

这种“研发在前沿、制造在山西、工艺在本地优化”的布局，不仅让企业扎根山西科创土壤，更充分整合了多地创新资源，为技术快速迭代与产业化落地奠定了坚实基础。目前，企业已在金刚石半导体设备领域积累了多项核心技术，成为山西半导体装备产业的重要力量。

融资助力扩产：剑指国产设备头部企业

路演现场，碳方程半导体明确提出融资需求：计划通过金融贷款或股权融资1000万元，资金将专项用于三大方向——持续加大研发投入，优化设备性能与产能；推进太原装备生产基地扩产，提升设备交付能力；拓展市场渠道与加强运营管理，加速技术成果市场化。

“我们的目标是成为国产金刚石半导体设备领域的头部企业，助力中国半导体产业链自主化。”企业负责人表示，当前全球半导体产业链面临重构，国产替代需求迫切，碳方程半导体将以此次路演为契机，借助“晋创谷·太原”的资源对接平台，打通融资渠道，加速技术转化与产业落地。

此次路演活动中，应邀出席的技术检测单位与科技金融部针对企业需求展开精准对接。技术检测单位将为设备性能提供专业评估，科技金融部则积极链接金融资源，推动资本与技术深度融合。作为“晋创谷·太原”培育的优质科创企业代表，碳方程半导体的亮相不仅展示了山西在半导体前沿领域的创新成果，更彰显了“晋创谷”通过政产学研用金协同，赋能企业成长、推动新质生产力发展的实效。未来，随着资金到位与技术迭代，这家扎根山西的科创企业有望在半导体设备国产替代浪潮中书写更多“山西创新”故事。