高纯PFA管在半导体制造中的优势与应用场景

一、高纯PFA管简介

PFA（可熔性聚四氟乙烯）是四氟乙烯与全氟烷基乙烯基醚的共聚物，分子链完全由碳-氟键构成，键能高，没有可被攻击的氢。高纯PFA在常规PFA的基础上，通过多级熔融过滤、洁净室造粒、无尘包装，将金属杂质总量控制在十亿分之一以下，这样的材料才有资格用于半导体级流体输送。

二、为什么芯片厂离不开高纯PFA管？

芯片制造超过三分之一的工序需要强酸、强碱、臭氧水、氨水或过氧化氢等腐蚀性化学品。药液在设备之间转移时，任何金属离子渗出都会在晶圆上形成电学缺陷。高纯PFA管几乎不溶出铁、铜、钠、钾，内表面经过等离子或化学平整处理后，粗糙度低于20纳米，药液流动时不会产生涡流和微粒脱落。

三、高纯PFA管在半导体制造中关键应用场景

在半导体制造的湿法工艺中，高纯PFA管承担着化学品输送的核心任务。光刻、湿法刻蚀、清洗等工序中使用的腐蚀性化学品，如氢氟酸、氢氧化钠溶液等，都需要通过PFA管安全高效地传输。其耐腐蚀性能不仅防止了管道本身的损坏，更避免了化学品泄漏对设备和环境的危害。例如，在蚀刻工艺中，精确输送氟化氢等蚀刻剂是确保硅片表面图案精度的关键，三氟莱PFA管的高纯度和化学稳定性为此提供了可靠保障。

超纯水系统是半导体制造的另一重要环节。晶圆清洗、芯片制程中的润湿步骤等都依赖于超纯水的高纯度。高纯PFA管在超纯水传输中表现出优异的离子稳定性，几乎无离子析出，同时光滑的内壁有效降低了微生物和颗粒沉积的风险，长期维持水质稳定。这对于确保半导体器件的电气性能和长期可靠性至关重要。

在高温工艺场景中，如扩散、退火等，高纯PFA管同样发挥着不可替代的作用。它能够承受高温环境下的化学介质输送，同时保持材料性能不发生显著变化，避免了传统材料在高温下可能出现的变形或有害物质释放问题。例如，在高温气体输送系统中，PFA管的热稳定性确保了工艺设备的连续稳定运行。

四、高纯PFA管常见规格与材料牌号

高纯度PFA管材料牌号：日本大金AP-231SH、美国科慕（原杜邦）451HP、科慕951HP PLUS。

高纯度PFA管常规的直径通常以英寸（inch）为单位，包括：

1/8英寸、1/4英寸、3/8英寸、1/2英寸、3/4英寸、1英寸、1-1/4英寸、1-1/2英寸、2英寸等。

此外，还有公制尺寸（内径*外径），包括：

2*4 mm、3*5 mm、4*6 mm、5*7 mm、6*8 mm、8*10 mm、8*12 mm、9*12 mm、10*12 mm、12*14 mm、14*16 mm、16*18 mm等，

其它规格可以定制。

三氟莱，高纯氟塑料制品生产厂家，半导体工厂高纯PFA管供应商。

本文由三氟莱PFA管小姐姐编辑，欢迎关注，带你一起长知识！