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金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“晶圆清洁装置”的专利，授权公告号CN223171582U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种晶圆清洁装置，包括：具有腔室的壳体，所述壳体上具有相对设置的第一端和第二端；所述第一端设有第一开口，所述第二端设有第二开口；设置于所述第一开口处，承载晶圆的载台；设置于所述第一端处，将所述载台夹持于所述第一开口的夹具结构；所述载台还密封所述第一开口；设置于所述壳体处的清洁单元；设置于所述清洁单元与所述第二开口之间，靠近第二开口处，提供回旋风将清洁单元清洁出的异物排出及收集的抽风系统。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本182000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目251次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息365条，此外企业还拥有行政许可6个。
本文源自金融界
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