福州大学联合瑞典高校取得Micro LED巨量转移新成果

近日，外网消息， 福州大学联合瑞典查尔姆斯理工大学在Micro LED巨量转移制程上取得重要进展。

研究团队成功开发出一种无残留聚合物的超高良率Micro LED激光巨量光转移方法。该成果有望大幅提升Micro LED在AR/VR、可穿戴设备、智能眼镜等前沿显示应用中的商用化速度。

研究团队采用激光诱导转移（Laser-Induced Transfer）方案，结合大数据分组分析与经验数学模型，有效提高了芯片转移的精准性与良率。该方法通过控制激光剥离能量在1200–1500 mJ/cm²的范围内，实现了极高的芯片保留率；在后续二次转移阶段，当激光能量密度与芯片下沉深度满足特定关系，且激光光斑尺寸为30×38微米时，转移良率达到100%。

研究团队表示，传统巨量转移技术如静电吸附、微印章或滚轮印章在大规模应用中存在诸多限制。例如，静电转移可能因电荷积聚损伤芯片，微印章受限于光刻精度，滚轮印章难以达到所需对位精度。而本次提出的激光转移技术不仅能精准控制激光焦点深度，还避免了芯片表面损伤和转移偏移，具备优异的稳定性与灵活性。

研究还发现，芯片在转移至第二临时载体过程中，易因PDMS（聚二甲基硅氧烷）等聚合物基影响最终对位精度。对此，研究团队建立了芯片下沉深度与最佳激光能量之间的数学关系，有效补偿了蓝宝石翘曲与粘接不平带来的不稳定因素，首次实现了无聚合物残留、均匀下沉的精准转移。

更关键的是，该技术适用于多种尺寸和类型的Micro LED芯片中，具备良好的扩展性与兼容性。这为Micro LED芯片更好地转移到TFT（薄膜晶体管）驱动基板上打下坚实基础。

未来，研究团队计划进一步拓展此技术在全彩Micro LED、柔性显示、微投影等领域的应用潜力。

值得注意的是，福州大学是国家新型显示技术创新中心、Micro LED显示创新平台，在基础研究、共性关键技术与工艺装备、技术验证与产业示范应用、专利与标准、学科建设与人才培养上具备强大的技术引领和应用经验。

目前，福州大学在μLED显示发光芯片制备、芯片与微米级芯片（Micro IC）巨量转移、芯片与基板键合等技术难点上已取得系列研究成果。

近年，福州大学持续与企业及国内外高校合作开展Micro LED技术研究。其中，在企业合作方面，去年7月，福州大学、闽都实验室、福州佳新创辉机电公司共同与海目星达成合作，聚焦新型显示领域关键工艺的迭代升级以及新一代颠覆性技术的开拓创新。

就在今年5月，海目星宣布，与福州大学合作成功研制出国内首款晶圆级Micro LED芯片非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL，实现了对红、绿、蓝三色Micro LED外延片、晶圆及临时载板芯片的无接触电致发光检测。

在高校合作方面，去年，福州大学曾与福建物构所、温州理工学院、深圳大学等多所高校合作，实现高效近红外量子点荧光粉、QLED器件效能提升、新型色转换显示 性能提升等多项Micro LED相关研究成果，持续推进Micro LED技术发展。

LEDinside整理

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