光刻机国产化迫在眉睫 产业迎来发展加速期

光 刻 作 为 芯 片制 造 中 最 复 杂 、 最 关键 的 工 艺 步 骤 ，其 核 心 设 备 光 刻 机 被誉 为 “ 工 业 皇 冠 上的 明 珠 ” 。

广 东 博 众 分析 指 出 ， 当前 ， 我 国 光刻 机 长 期 依 赖进 口 ， 在 寡 头垄 断 、 技术 封 锁 与 出 口管 制 的 多重 影 响 下 ，芯 片 制 造 面 临 “ 卡 脖 子 ” 困 境 ， 也限 制 了 我 国A I 产 业 的 发展 ， 光 刻 机国 产 化 迫 在 眉睫 。 与 此 同 时， 国 内 相 关 产业 不 断 取 得 突 破， 正 迎 来 黄 金 加 速期 。

光 刻 工艺 地 位 关 键 光 刻机 市 场 寡 头 垄 断

芯 片 制 造 流 程包 含 晶 圆 加工 、 氧 化、 光 刻 、 刻 蚀 等多 个 重 要 步 骤 ，其 中 光 刻 耗 时 长、 成 本 高 ， 是 半导 体 芯 片 生 产 流 程中 最 复 杂 且 关 键的 一 环 。 其 原 理是 将 高能 雷 射 光 穿过 光 罩 （reticle），使 光 罩 上的 电 路 图 形 透 过 聚 光 镜（projectionlens） ，将 影 像 缩 小 到 十 六 分 之 一 后 成 像 （ 影 像复 制 ）在 预 涂 光 阻层 的 晶 圆 （wafer）上，而 光 刻机 正 是 这 一 工 艺 的核 心 设 备 。

从 市场 规 模 来 看 ， SEMI 数 据 显 示 ，全 球 半 导体 设 备 市 场 规 模 有 望 从 2 0 2 2 年 的 1 0 7 4 亿 美 元 增 长 到 2 0 2 5 年 的 1 27 5 亿美 元 。 光 刻机 在 半导 体 设 备 中占 比 约 2 4% ， 据 此 预估 2 0 2 4 年 全 球 光 刻 机 市场 规 模 约 为 3 1 5 亿美 元 。

在 市 场格 局 方 面 ， 光 刻 机 市 场 呈 现 寡 头 垄 断 态 势 。 荷 兰 阿 斯 麦 （ A SML）、日 本 佳 能（Canon）、日 本 尼 康 （Nikon）占 据 了 绝 大多 数 市 场 份 额 ， 中 商 产 业 研 究 院 数 据 显 示 ， 2022年， ASML 以 82.1% 的份额一家独大，佳 能 和 尼康 则 分 别占 10.2% 和 7.7%。

国 产 需 求持 续 攀 升 光 刻 机 产 业 迎 突 破

国 内 晶 圆制 造 产 业 正 加 速 扩 张 ， 对 光 刻 机 的需 求 不 断 攀 升 。 据全 球 半 导 体 观察 统 计 ， 2 0 2 3 年 底 中 国 大 陆 共有 3 1 座 12 寸 晶圆 厂 投 产 ， 总计 月 产 能 约 1 1 8 . 9 万 片 ，规 划 月 产能 2 17 万 片 ；预 计 到 2 0 2 6 年 底 ， 大 陆 1 2 英 寸 晶 圆厂 的总 月 产 能 有望 超 过 4 1 4
万 片 。

根 据 《 半导 体 制 造 光 刻 机 发 展分 析 》 统 计 ， 在芯 片 生 产 产 线建 设 中 ， 光刻 机 购 置成 本 占 设 备总 投 资 的 2 1 % - 2 3 % ，光 刻 工 艺 耗时 占 生 产 环节 的 一 半 ，制 造 成 本占 芯 片 制造 成 本 的 30 % 以 上 ， 足 见其 核 心 地 位 。 加之 A I 产 业的 快 速 发 展 ，国 内 对 光刻 机 的 需 求 持续 增 长 。

然 而 ，我 国 光 刻 机 长 期 依 赖 进 口， 以 A S M L 为 例 ， 其 2 0 2 4 年 对 中 国大 陆 市场 销 售 收入 达 9 0 亿 欧 元 ， 占 其收 入比 重 4 1 % 。 （数 据 来 源 ：A S M L 官网 ， 山 西 证券 研 究 所 ）因 此 ， 在 全 球科技博弈加剧的 背 景 下 ， 加 快 光 刻 机 自 主研 发 已 成 为 我 国 半 导体 产 业 崛 起 的 必 由 之 路。

值 得 欣 喜 的是 ， 国 内 光 刻机 产 业 正 不 断 取得 突 破 。

广 东 博众 分 析 指 出 ，2 0 1 6 年 上 海 微电 子 9 0 n m A r F光 刻 机 S S A 6 0 0系 列 实 现 出 货 。 20 2 0 年 华 卓精 科 生 产 的 光刻 机 双 工 件 台， 打 破 了 A SM L 公 司 在 光 刻机 工 件 台 上 的技 术 垄 断 。 20 2 5 年 ，哈 尔 滨 工 业 大 学官 宣 了 成 功 研 制 出 1 3 . 5 n m 波长 的 极 紫 外光 刻 光 源 ， 这是 光 源 技 术 上 备受 瞩 目 的 一 项 突破。 中 科院 上 海 光机 所 成 功研 发 了 全固 态 深 紫 外光 源 系 统， 使 得 中 国芯 片 工 艺 推进 至 3 纳米 理 论 极 限 。整 体 而 言， 国 内 光 刻 机产 业 正 不 断进 步 ， 国 产替 代 空 间广 阔 。

本 文 观点 由 博 众 投 研 团 队 徐 建（ 执 业 编 号 ： A0600625040008）、容 伟 彪（执业编号：A0600621050004）编 辑 整 理， 仅 代 表 个 人 观 点 ， 任 何 投资 建 议 不 作 为 您 投 资 的 依 据 ， 您须 独立 作 出 投 资 决 策 ，风 险 自 担 。 据 《 证 券期 货 投 资 者 适 当性 管 理 办 法 》 相关 规 定 ， 特 此 说 明： 博 众 通 过 各 渠道 推 出 的 相 关 文章 仅 面 向 广 东博 众 智 能 科技 投 资 有 限 公司 的 客 户 群体 ， 文 章 内 容不 表 明对 相 关产 品 或 者 服务 的 风 险和 收 益 做 出实 质 性 判 断 或者 保 证 。若 您 并 非 广东 博 众 客 户群 体 ， 请 勿接 收 或 者 使 用 博众 通 过 各渠 道 所 推 送的 任 何 信息 。 股 市 有风 险 ， 投 资需 谨 慎 ！