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金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料以色列公司申请一项名为“使用激光束以用于SEM基础工具、工作距离测量和控制SEM到靶材的工作距离”的专利，公开号CN120303762A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，一种用于处理样品的系统，包括：真空腔室，其具有沿着其壁之一形成的窗口；样品支撑件，其经配置成在样品处理操作期间将样品保持在真空腔室内，并沿着X、Y和Z轴在真空腔室内移动基板；带电粒子束柱，其经配置成将带电粒子束引导到真空腔室中并聚焦所述束以与样品上的感兴趣区域碰撞；光学距离测量装置，其经配置为产生电磁辐射并将电磁辐射通过窗口引导到真空腔室中，从由样品反射的电磁辐射中检测光子，并且基于产生的电磁辐射和检测到的光子来确定样品和带电粒子柱之间的工作距离；以及一个或多个反射镜，安置在真空腔室内，并经定位成将由光学距离测量系统产生的电磁辐射引导到样品上紧邻感兴趣区域的测量位置，所述一个或多个反射镜包括直接位于带电粒子柱的一部分下方的至少一个反射镜。
本文源自：金融界
作者：情报员
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