北京
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请一项名为“掩模版、掩模版检测装置、掩模版存在和位姿检测系统及检测方法”的专利，公开号CN120295052A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，提供了一种掩模版、掩模版检测装置、掩模版存在和位姿检测系统及检测方法，所述掩模版包括：版体；所述版体上具有非透光区和透光区；所述版体上至少设置两个检测位置，分别为第一检测位置和第二检测位置；所述检测位置位于所述非透光区；所述版体放置姿态为标准姿态时，所述第一检测位置参照不动件所在位置为第一基准位，所述第二检测位置参照不动件所在位置为第二基准位，所述版体以标准姿态为初始姿态绕垂直于所述版体的中轴线旋转任意角度时，所述第一基准位和所述第二基准位中至少一者不与所述版体的透光区重合。本发明通过在掩模版上的非透光区设置检测位置并配合光学传感器以识别是否有版以及掩模版位姿是否正确。
天眼查资料显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司，成立于2002年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本26612.41万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微电子装备（集团）股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目144次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息2944条，此外企业还拥有行政许可108个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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