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金融界2025年7月8日消息，国家知识产权局信息显示，聚变新能（安徽）有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院申请一项名为“真空抽气系统及其控制方法、装置和存储介质”的专利，公开号CN120280188A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明公开了一种真空抽气系统及其控制方法、装置和存储介质，其中，真空抽气系统包括机械泵、罗茨泵、第一分子泵、第二分子泵、对应第一分子泵设置的第一真空规和第一插板阀、对应第二分子泵设置的第二真空规和第二插板阀、对应真空腔室设置的第三真空规和第三插板阀，方法包括：获取第一真空规、第二真空规和第三真空规的真空度检测值；根据第一真空规、第二真空规和第三真空规的真空度检测值，获取机械泵、罗茨泵、第一分子泵、第二分子泵、第一插板阀、第二插板阀和第三插板阀的控制参数；根据控制参数，驱动真空抽气系统对真空腔室进行抽真空。由此，通过真空抽气系统基于真空度检测值实现真空腔室的全自动抽真空，简化流程并降低人工干预。
本文源自：金融界
作者：情报员
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