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金融界2025年7月5日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“含钒层以及用于沉积所述层的方法和系统”的专利，公开号CN120249936A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本公开总体涉及包括一个或多个含钒层的结构以及用于形成所述结构的方法和系统。在一些实施例中，所述结构包括使用循环沉积过程形成的第一含钒层。循环沉积过程包括在反应空间中提供衬底，使衬底的表面与钒前体接触，以及使衬底的表面与还原剂接触，以在衬底的表面上形成第一含钒层。在一些实施例中，在第一含钒层上或上方和/或由第一含钒层形成第二含钒层。
本文源自金融界
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