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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“衬底处理装置”的专利，公开号CN120237085A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，所公开的是能够在同时驱动导引环单元和卡盘销的同时减小施加到卡盘销上的应力的衬底处理装置，其包括具有内部处理空间和开口顶部的杯状体、用于在处理空间内支撑衬底的支撑单元、用于向由支撑单元支撑的衬底供应处理液的液体供应单元以及设置成在上下方向上可移动的接触部，支撑单元包括用于在其上放置衬底且可旋转的支撑板、设置在支撑板上并在衬底的侧部上支撑衬底的卡盘销以及与卡盘销联接并支撑卡盘销的卡盘销支撑件，接触部在上升时与形成在卡盘销支撑件上的倾斜表面接触，卡盘销设置成通过接触部的上下移动在间隔位置和支撑位置之间移动，间隔位置是与由支撑单元支撑的衬底间隔开的位置，支撑位置是支撑由支撑单元支撑的衬底的侧部的位置。
本文源自：金融界
作者：情报员
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