北京
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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“用于控制温度的装置和方法”的专利，公开号CN120237046A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本公开提供了一种用于控制温度的装置和方法。提供了一种用于控制温度的装置，包括：腔室，内部具有处理空间；衬底支撑单元，设置在腔室中，并且支撑衬底；加热单元，包括安装在腔室的上部中并对腔室的上部进行加热的加热构件；冷却单元，包括安装在腔室的上部中并对腔室的上部进行冷却的冷却构件；以及控制器，控制加热单元和冷却单元。
本文源自：金融界
作者：情报员
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