中科仪北交所IPO获受理 拟募资8.25亿元投建干式真空泵产业化等项目

6月30日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称“中科仪”）的北交所IPO申请获受理。

本次公司计划募资8.25亿元，投向干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。

招股书显示，中科仪主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。

行业地位方面，公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。截至目前，公司各类干式真空泵的出货量已累计超过4万台，其中集成电路领域出货量超2.5万台。根据市场预计数据测算，2024年公司干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%，打破欧美及日本企业在国内市场的长期垄断。

在干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断：干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、华润微、上海积塔、广州粤芯等国内主流晶圆制造企业，以及北方华创、拓荆科技、客户A等国内主流半导体设备厂，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。

财务数据显示，2022年至2024年中科仪实现营业收入分别为6.98亿元、8.52亿元、10.82亿元；对应净利润分别为4.98元、6亿元、1.93亿元。

从本次具体募投项目来看，干式真空泵产业化建设项目投资总额7亿元，拟使用募集资金2.31亿元，建设周期为4年；该项目将提升公司干式真空泵的生产能力，形成年产20040台干式真空泵的生产能力；目前，项目已经完成土地购置、部分厂房及产线建设、部分设备购置。

中科仪认为，在集成电路产业的晶圆制造生产线种类众多的专用装备中，70%左右都需要在真空的工艺环境生产组装。出于环保、效率以及真空度的考虑，结合集成电路对真空系统特有的清洁、无油、耐腐蚀的要求，干式真空泵成为集成电路行业的首选真空获得设备，可以极大的提高产品性能和质量。

“因此本项目所生产的干式真空泵设备将成为公司扩大业务规模的重要机遇，是公司在行业中保持竞争优势的必然要求。”中科仪在招股书中谈到。

本次募投的另一个项目是建设高端半导体设备扩产及研发中心，拟使用募集资金4.74亿元。据介绍，该项目拟建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，引入自动化生产设备和先进的研发测试仪器，旨在提高公司在高端半导体设备领域的技术水平和生产能力。项目所生产的H系列干式真空泵是集成电路设备中的重要配套设备之一，广泛用于刻蚀、PVD、CVD等集成电路制造部分工艺中等。同时，项目也将扩产少量涡旋泵，主要用于科研、工业、医药等领域。

新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目拟使用募集资金1.21亿元，建设周期为3年。该项目将针对半导体领域研发超高速节能泵、超高温泵等新一代干式真空泵产品，同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造、科学研究等市场开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组。