张汝京见证：青岛12亿关键项目投产

渴望在“造芯”领域拥有一席之地的青岛，迎来关键突破。

6月27日，青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心落成投产活动在青岛自贸片区举行。官方报道显示，该项目计划投资超12亿元，聚焦原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大核心半导体前道设备的研发与量产。

作为中国半导体产业领军人物，此前曾在青岛一手创办芯恩的张汝京，也出席了此次投产活动，足见该项目的量级。

在年中冲刺期，思锐智能项目投产不仅极大提振士气，还将进一步增强青岛“造芯”的存在感，而张汝京此番出席，同样也给外界留下诸多想象空间：从青岛芯恩离职后，这位中国芯片教父级别的人物，能否与青岛再续前缘？

之所以说思锐智能半导体先进装备研发制造中心项目，将为青岛带来更大的话语权，是因为其填补了青岛在半导体核心装备领域的空白。

成立于2018年的思锐智能，在半导体领域只能算作一名“后起之秀”，但其聚焦的原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP），均为芯片制造的核心工艺装备。

公开报道显示，作为国内唯一同时突破ALD与IMP关键技术并实现量产的半导体设备企业，思锐智能此番落地的研发制造中心项目，将实现年产百台设备的生产目标。

ALD是集成电路先进制程晶圆制造的关键设备，能够在复杂的纳米结构上沉积高度均匀、纯净且厚度精确控制的薄膜。目前，ALD领域呈现寡头垄断的态势，国产化率仍然较低。

2018年，成立不久的思锐智能通过全资收购芬兰Beneq公司，获得近40年的成熟ALD技术积累，实现从科研市场向工业市场的转型，正式切入高端镀膜设备市场。随后，思锐智能通过逐步实现国产化替代，2024年ALD设备订单同比增长40%。

IMP是芯片制造中实现精确掺杂的核心设备，其技术精度对芯片性能起着决定性的作用，作为《国家集成电路产业发展推进纲要》要求重点发展的三种设备之一，其难度仅次于光刻机，且同样面临国产化率低的挑战。

此前，思锐智能方面曾透露，企业首先研发的难度最大的高能离子注入机，打破了国外垄断，已于2023年9月交付国内头部客户。

可以看到，思锐智能涉足的ALD与IMP领域，均属于集成电路产业三大环节中的制造环节。

目前，在青岛的集成电路产业布局中，设计和封测领域已集聚物元半导体、海信信芯、富士康等一批优质项目，在全国范围内已有一定声量，但在制造领域，与上海、无锡等国内集成电路产业发达地区相比，数量和规模都存在一定差距。

从全国层面来看，只有北京、上海、无锡等少数几座城市在集成电路产业有较为均衡的布局。

对于想要在集成电路领域争得一席之地的青岛而言，思锐智能项目落地，将提供更进一步的可能。

一个值得关注的细节是，青岛芯恩的创始人张汝京此番也出席了思锐智能项目的投产活动。在官方报道中，对其介绍为“中国半导体产业领军人物”。

2018年4月，70岁的张汝京在西海岸新区中德生态园领衔创办青岛芯恩，这是他继世大半导体、中芯国际、LED研发制造领域、上海新昇之后的第五次创业。

2021年8月，芯恩举办誓师大会，会上正式宣布8英寸厂投片成功，投片产品为功率器件，良率达90%以上，光罩厂也于同期完成了产品交付。

在青岛芯恩工作四年之后，2022年张汝京从青岛芯恩离职，转任上海积塔半导体有限公司执行董事一职。

离开芯恩后，张汝京与青岛之间几乎再无交集，此番出席思锐智能项目的投产活动，也是其时隔三年之后，再与青岛半导体产业联系在一起。

值得关注的是，张汝京创办的青岛芯恩同样属于集成电路产业中的制造环节。在此背景下，青岛芯恩后续能否与思锐智能在业务方面产生更多交集，值得期待。

更进一步来说，在青岛布局的“10+1”创新型产业体系中，集成电路所属的新一代信息技术产业，也被明确为要优先发展的两个先导产业之一。对此青岛也提出“力争到2027年，新一代信息技术产业规模达到2000亿元”的目标。

思锐智能若能与青岛芯恩强强联合，不仅将补齐青岛在制造环节的短板，也将增强青岛在集成电路产业中的核心竞争力，进而拉升青岛新一代信息技术产业的规模和影响力。

最后，还想再说一点。复盘思锐智能项目从落地到投产的过程，以青岛城投为代表的青岛国资，起到的作用不容小觑。

此前，思锐智能董事长聂翔曾透露，在半导体先进装备研发制造中心项目落地前，也去过长三角和珠三角考察选址，最终选择中德生态园，是看中这里规划了集成电路产业园。

思锐智能项目最终落地的青岛集成电路先进装备园，是青岛市集成电路产业园的重要组成，由青岛城投斥资15亿元打造。

此外，根据思锐智能官微报道，半导体先进装备研发制造中心项目在建设过程中也得到青岛自贸片区·中德生态园、青岛城投集团的支持，从2024年4月底取得施工许可手续，到9月底正式封顶，仅用时5个月。

因此，透过青岛国资与行业龙头企业的良性互动，其实也会为青岛“造芯”乃至做大做强“10+1”创新型产业体系，打开新的思路。