金融界2025年6月25日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“一种晶圆搬运装置及半导体加工设备”的专利,授权公告号CN223023235U,申请日期为2024年09月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆搬运装置及半导体加工设备,包括搬运手臂,具有搬运端,所述搬运端用于搬运晶圆;多个限位销,活动设置于所述搬运端,用于在搬运过程中对晶圆限位;清洁环,活动套设于所述限位销;在工作状态下,所述限位销与所述清洁环相对运动,使所述清洁环对所述限位销侧壁进行清理。本发明能够减小限位销侧壁残留的胶对晶圆搬运过程的干涉,减小晶圆发生碎片/掉片的可能。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目171次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息711条,此外企业还拥有行政许可55个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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