告别“洋心脏”！全国首款全流程自主化生产电热微镜芯片在渝下线

芯片是精密器的心脏。

6月6日下午，位于西部（重庆）科学城西永微电园的北京理工大学重庆微电子研究院（以下简称“北理微电院”）传来喜讯，全国首款全流程自主化生产电热微镜芯片正式下线。该芯片利用电热MEMS技术，打破光谱仪核心部件技术瓶颈，填补国内技术空白，成为精密仪器的“最强心脏”。

▲北京理工大学重庆微电子研究院。

据悉，北理微电院该产线已完全实现电热微镜芯片设计、交付流片、晶圆制造、封装、测试全流程的自主可控，可广泛应用于生物医疗、军事国防、电子通信等多领域。这标志着，重庆成为全国唯一一个可以批量研制低成本、高性能、微型化、集成度高的电热微镜芯片的城市。

▲全国首款全流程自主化生产电热微镜芯片产线。

当前，重庆聚焦奋力谱写中国式现代化重庆篇章总纲领总遵循，迭代升级“六区一高地”建设体系构架，将目光瞄准集成电路赛道，扎实推动科技创新和产业创新深度融合，强化企业科技创新主体地位，在全球芯片领域的激烈竞争中逐风破浪，打造具有自主知识产权的“中国芯”。

▲微型近红外光谱仪。

“与其它驱动技术相比，电热微镜芯片具有多项优势，除了工作电压较低，最主要是可提供较大的垂直位移和扫描角度，实现对光束的精确控制。”北理微电院彭喆博士介绍道。

他进一步说道，对比可以垂直移动的静电微镜芯片而言，国外售价在一万元每颗左右，而此次下线的电热微镜芯片可以实现该芯片成本的大幅降低，真正实现把芯片价格“打下来”。

而芯片价格“打下来”的背后，是无数科研工作者的长久坚守。北理微电院院长、首席科学家谢会开教授介绍，芯片的稳定性是整个系统稳定的重要保障，为了让这颗“心脏”的稳定性保持最优状态，团队成员从2008年起就开始寻找合适做芯片的材料。

▲电热微镜芯片。

从浩如烟海的备选材料中，他们找到了满足要求的金属和介电质双材料组合，完成了从芯片到模组到系统的研发，再到整机的软件和算法开发，全部实现自主研发。

“现在芯片对驱动信号的响应时间，从最初的0.1秒已经提高至0.01秒。实现了量级上的跨越。”谢会开教授介绍道，除微型光谱仪外，该款电热芯片还可应用在光学相干断层扫描（OCT）、激光雷达（LiDAR）等诸多领域中。

▲科研人员在OCT设备下进行检测。

如今，北理工微电院在电热芯片的带动下，与重庆多个医药、航天、工业企业形成合作，带动企业效能提升。“从0到1，我们花了20年时间，却只是芯片发展的微小一步，但我们坚信，坚持就是胜利，中国芯，一定能行！”谢会开教授如是说。