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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，LPE公司申请一项名为“具有可移除反应单元的反应器”的专利，公开号CN120026390A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明涉及反应室(100)，其包括可移除反应单元(300)和敏感外壳(200)。本发明还涉及结合所述反应室的反应器(1000)，以及包括所述反应器的组件(2000)。此外，本发明涉及适于减少上文所述的反应器的预防性维护时间的方法，以及所述反应器在半导体衬底上同质外延或异质外延沉积碳化硅或氮化镓膜中的用途。
本文源自：金融界
作者：情报员
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