北京
分享至
金融界2025年5月10日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请一项名为“带电粒子束装置的扰动补偿”的专利，公开号CN119948594A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，带电粒子束装置(例如用于修复任务)会受到扰动。例如，在执行用于修复光刻掩模上缺陷的操纵模式时，使用一或多个传感器的传感器输出来补偿所述扰动。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
