北京
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金融界2025年5月8日消息，国家知识产权局信息显示，索泰克公司申请一项名为“用于制造在压电薄膜转移方法中使用的供体衬底的方法”的专利，公开号 CN119949074A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于制造用于将压电膜转移到最终支撑衬底上的供体衬底的方法，该方法包括以下步骤：a)提供块状处理衬底(102)，特别是基于硅的块状处理衬底；c)在该块状处理衬底(102)上方提供压电材料(114,142)，其特征在于，该方法在提供该压电材料(114,142)的步骤c)之前还包括注入(106)该块状处理衬底(102)以在该块状处理衬底(102)中形成脆化区(104)的步骤b)。本发明还涉及一种供体衬底(100,138,148)，特别是通过根据本发明的制造方法获得的供体衬底，以及一种用于使用根据本发明的供体衬底(100,138,148)转移压电薄膜的方法。
本文源自：金融界
作者：情报员
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