北京
金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆竖直清洗装置”的专利，公开号CN 119786386 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种晶圆竖直清洗装置，包括：箱体，箱体内具有加工腔室，箱体的底板设有排水口；排水网，排水网设置至排水口处；卡盘，卡盘设置至加工腔室，以竖向夹持晶圆，卡盘所在的平面与竖直面平行；防溅液装置，位于排水口上方并覆盖排水口，防溅液装置包括两个固定块，可拆卸地设置在箱体内，以及至少一个导向板，设置在两个固定块之间，晶圆夹持位在竖直面的投影位于导向板在竖直面的投影区域内，导向板所处的平面与竖直面之间具有第一夹角，以接住并引导晶圆滴落的液滴至排水口；箱体侧壁正对防溅液装置的位置设置有维护门，用于维护防溅液装置本申请实施例提供种晶圆竖直清洗装置能够有效的避免晶圆的表面残存液体滴落后回粘晶圆的表面。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币，实缴资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目218次，财产线索方面有商标信息64条，专利信息662条，此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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