北京
金融界2025年3月31日消息，国家知识产权局信息显示，无锡诚承电子科技有限公司取得一项名为“一种低温冷却型稳定离子源注入装置”的专利，授权公告号CN 222690630 U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本实用新型提出一种低温冷却型稳定离子源注入装置，包括外壳、离子束流系统及冷却机构，离子束流系统包括在外壳内部依次连接的气体箱、离子源、质量分析器及加速管，气体箱与离子源产生离子束，经质量分析器筛选出杂质离子后由加速管加速射出，外壳对应于加速管出口开设有通孔；冷却机构设置于外壳外侧，冷却机构包括冷却台、多个冷却翅片及冷却管，冷却台上设置有容置部，且容置部对准通孔，冷却翅片连接于冷却台，冷却管穿设于冷却翅片，冷却管具有进液口及出液口，冷却管内流通冷却剂以使冷却台降温。本实用新型技术方案能够在进行离子注入前对晶圆进行降温冷却，以形成更厚的非晶层，更少的射程端缺陷。
天眼查资料显示，无锡诚承电子科技有限公司，成立于2013年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本218.1176万人民币，实缴资本218.1176万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡诚承电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息26条，此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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