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金融界2025年2月21日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理方法、制造方法及基板处理设备”的专利，公开号 CN 119493346 A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基板处理方法，包括基板装载操作，其将基板装载到由本体提供的处理空间中；加热操作，其将已装载到处理空间中的基板放置到加热盘上并加热基板；以及气氛改变操作，其改变处理空间的气氛，其中气氛改变操作包括：气体排放操作，其在基板位于比加热操作更靠近挡板的状态下注入气氛改变气体，其中，挡板被配置在加热盘的顶侧，以面向加热盘并注入气氛改变气体；以及基板下降操作，其在将基板下降并放置在加热盘上的同时维持气氛改变气体的注入。
本文源自：金融界
作者：情报员
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