北京
金融界2025年1月14日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市矩阵多元科技有限公司申请一项名为“用于PVD矩形平面靶的扫描磁控管装置与薄膜沉积设备”的专利，公开号 CN 119287329 A ，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明涉及真空沉积技术领域，公开了一种用于PVD矩形平面靶的扫描磁控管装置与薄膜沉积设备，磁控装置包括：磁控管；驱动装置，用于驱动磁控管相对矩形平面靶沿第一方向与第二方向移动，以使磁控管到达对应矩形平面靶各角部的极限位置，磁控管的移动行程包括依次进行的第一行程与第二行程，第一行程中磁控管在第一极限位置与第二极限位置之间移动，第二行程中磁控管在第一极限位置与第三极限位置之间，或者在第二极限位置与第三极限位置之间移动，第一极限位置、第二极限位置与第三极限位置均为不同的极限位置。本实施例中磁控管在完成第二行程后到达的极限位置不同于第一行程中磁控管出发或者达到的极限位置，因此能够提高刻蚀均匀性。
天眼查资料显示，深圳市矩阵多元科技有限公司，成立于2016年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1354.502万人民币，实缴资本1207.7293万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市矩阵多元科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目77次，知识产权方面有商标信息1条，专利信息117条，此外企业还拥有行政许可13个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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