超10亿元！上海华海清科收购芯嵛半导体82%的股权

近日，华海清科股份有限公司（以下简称“华海清科”）公告称，公司全资子公司华海清科（上海）半导体有限公司拟合计使用自有资金不超过10.045亿元，收购公司参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司（以下简称“芯嵛半导体”或者“标的公司”）剩余82%的股权。本次交易完成后，芯嵛半导体将成为华海清科全资子公司，进一步加大离子注入机业务投入。

公开资料显示，华海清科成立于2013年，总部位于天津市，是一家在半导体专用设备领域具有深厚底蕴的企业。其主营业务涵盖半导体专用设备的研发、生产、销售以及技术服务，主要产品包括CMP设备、减薄设备、划切设备、湿法设备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等。华海清科全资子公司——华海清科（上海）半导体有限公司成立于2023年，位于上海临港。

本次交易的被收购方——芯嵛半导体成立于2018年，位于上海张江，是一家专注于集成电路离子注入机研发、生产与销售的企业。芯嵛半导体核心技术团队拥有超过30年的离子注入行业经验，目前其实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证，部分机台已实现验收。

公告显示，目前中国大陆集成电路制造企业的离子注入设备仍然主要依赖进口，而芯嵛半导体是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商。同时，为保护公司及股东特别是中小投资者利益，本次交易设置了业绩承诺及补偿安排。

华海清科董秘办人士表示，本次交易为“横向拓品类”收购，有利于公司整体业务规模继续做大做强。此外，对于芯嵛半导体的看好，主要基于标的公司在手订单、市场及客户需求、行业发展趋势等因素综合考量。

01

标的公司产品国产化率高

收购溢价率高达1541.43%

此次华海清科拟收购的芯嵛半导体，是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商。

资料显示，芯嵛半导体主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售，目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证。根据《国民经济行业分类（GB/T4754-2017）》，芯嵛半导体所处行业为制造业中的半导体器件专用设备制造（C3562）。

从财务数据来看，芯嵛半导体目前仍处于投入期，其2023年度的营业收入和净利润分别为362.24万元和-2442万元；2024年前5月其营收更是只有78.06万元，净利润继续亏损1516.68万元。截至2024年5月末，芯嵛半导体的净资产只有7463万元。显然，如果仅看财务数据，华海清科收购芯嵛半导体的价格非常“昂贵”。

公告显示，本次交易的股权转让方包括自然人CHEN WEI及上海凯城半导体科技合伙企业（有限合伙）、上海科技创业投资（集团）有限公司（以下简称“上海科创”）、上海浦东海望集成电路产业私募基金合伙企业（有限合伙）、中小海望（上海）私募基金合伙企业（有限合伙）、苏州鋆望创芯肆号投资合伙企业（有限合伙）、RIGHT DIRECT INVESTMENTS LIMITED、湖州庆芯科技发展合伙企业（有限合伙）共计8方。

经协商确定，确定芯嵛半导体100%股权的整体价格为12.25亿元，交易价格与评估截止日芯嵛半导体所有者权益账面值相比的增值率为1541.43%，芯嵛半导体82%的股权定价则为10.05亿元。2024年12月24日，华海清科与除上海科创以外的交易各方，分别签署了《关于芯嵛半导体（上海）有限公司之股权收购协议》。

值得一提的是，芯嵛半导体的共同实际控制人CHEN JIONG也曾是另一家离子注入设备公司——上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通半导体”）的创始人。CHEN JIONG于2009年在上海张江成立了凯世通半导体，随后逐步开发出应用于太阳能、集成电路和AMOLED领域的离子注入机产品。

2018年，万业企业发布公告称，宣布以9.7亿元的估值收购凯世通半导体。然而，受国际宏观经济形势及国内光伏新政影响，凯世通半导体经营状况表现不佳。因此，在2018年年底，万业企业宣布，经各方协商一致，同意调整公司对凯世通半导体的收购方案，将收购标的凯世通半导体整体估值由9.7亿元降至3.98亿元。同时，拟取消原有的业绩对赌协议。

令人意外的是，CHEN JIONG在将凯世通半导体卖给万业企业（2018年7月16日宣布收购100%股权）后，仅一个月便于2018年8月16日创立了同样研发离子注入设备的芯嵛半导体。

02

押注离子注入机业务

加强“装备+服务”平台化战略布局

华海清科布局离子注入机领域早有先兆。

早在2023年，华海清科为进一步巩固、强化产业链协同效应，完善公司业务布局，就已完成对芯嵛半导体的增资事宜，公司持有其18%的股权。

作为一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商，华海清科主要从事半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等，初步实现了“装备+服务”的平台化战略布局。据悉，公司已获得国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、省级制造业单项冠军企业和省级行业领军企业等荣誉。

2022年6月，华海清科在科创板上市。上市前公司业绩爆发式增长，上市后的两年又一期财报，其延续了这种高增长势头。今年前三季度，公司实现营业收入24.52亿元，同比增长33.22%；实现归母净利润7.21亿元，同比增长27.8%；研发投入2.63亿元，同比增长23.16%。

公开资料显示，华海清科背后的创始人是CMP领域顶级专家、前清华大学教授路新春（董事长兼首席科学家），拥有20多年CMP技术的研究经验，是国内CMP技术发展和产业化的重要推动者。

此外，创始团队成员还包括中国科学院院士、清华大学特聘教授雒建斌，清华机械工程系长聘教授朱煜。除了三位教授之外，研发总监王同庆、技术总监赵德文等主要研发人员也均来自清华大学。

目前，华海清科的产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺，已基本覆盖国内12英寸集成电路制造商的大生产线。

其中，公司CMP装备在逻辑芯片、DRAM存储芯片、3D NAND存储芯片等领域客户端生产线均表现突出，长期连续运行的技术指标和可靠性指标均达到国际同类设备水平，公司凭借自身的技术与产品实力在国内CMP装备领域的市占率稳步提升，并处于领先地位。今年7月，华海清科第500台12英寸CMP装备出机，并交付国内某先进集成电路制造商，这标志着公司产品质量和可靠性得到客户的高度认可，有望进一步提升市场占有率。

通过本次收购，华海清科可以进一步实现对离子注入核心技术的吸收和转化，跨越式地完成产品和业务板块布局，是其积极落实“装备+服务”的平台化发展战略的又一重要突破。

03

打破国际垄断

提升企业核心竞争力

据悉，离子注入设备涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学，理论门槛高，系统集成难度大。根据SEMI数据，在全球及国内市场中，超过九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应，市场集中度较高。

市场前景方面，近年中国集成电路产业在市场需求拉动和政策支持下，产业规模迅速增长。根据SEMI的数据，2025年全球12寸晶圆厂设备资本支出强度预计提升，有望达到1165亿美元，同比增长20%；且2026年、2027年有望达到1305亿美元、1370亿美元。具体到中国市场，2022年、2023年中国半导体设备市场规模分别达到282.7亿美元、356.97亿美元，增速明显高于全球整体情况。

离子注入机则是集成电路制造前道工序中的关键设备之一，离子注入设备销售额占半导体工艺设备整体销售规模的比重约为3%～5%，市场前景广阔。

今年12月初，美国对华半导体出口管制措施的新规中，增列140家实体。其中，华海清科及公司全资子公司华海清科（北京）科技有限公司、华海清科（上海）半导体有限公司和华海清科（广州）半导体有限公司均被列入实体清单。

华海清科随后发布相关声明称，公司向来高度重视核心零部件的自主研发及国内供应商的培养以实现产品的自主可控，同时与核心供应商建立了密切的合作关系，已经建立了完善、稳定的供应链体系。目前华海清科生产经营及财务情况一切正常，各项业务稳步推进，本次被列入实体清单总体影响可控，不会对公司经营产生实质性影响。

面对国际市场的不确定性和国内对半导体设备国产化需求的迫切性，华海清科的应对策略和未来布局显得尤为重要。

关于此次收购，公告披露，芯嵛公司核心技术团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，并对设备核心模块离子束流系统的传输路径进行了升级改进，使得芯嵛公司目前的产品较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优，且设备零部件的国产化率更高。现阶段在国内竞争对手中，具备一定的竞争优势。

华海清科指出，离子注入机作为集成电路制造关键制程设备，长期由部分国际知名厂商垄断，中国大陆集成电路制造企业的离子注入设备仍然主要依赖进口，进口替代需求空间巨大。芯嵛公司是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商，通过此次收购能较快实现对离子注入核心技术的吸收和转化，跨越式地完成产品和业务板块布局，进一步提升公司核心竞争力。

展望未来，华海清科有望在激烈的国际竞争中占据更有利的位置。