金融界2024年12月25日消息,国家知识产权局信息显示,海太半导体(无锡)有限公司申请一项名为“一种晶圆切割工程产品装载治具自动锁定控制系统”的专利,公开号 CN 119170525 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明提供一种晶圆切割工程产品装载治具自动锁定控制系统,包括以下步骤:S1:晶圆装载待料S2 加载晶圆装载治具;S3:晶圆装载治具自动锁定;S4:加载晶圆装载治具信息;S5:晶圆装载治具识别单元;S6:设备解锁。本发明在晶圆装载治具的底部安装锁定装置,锁定装置与主控模块实现信号连接,并协同晶圆装载治具信息的上传与核对,达到设备作业结束前,晶圆装载治具始终锁止在设备上的效果,有效避免晶圆装载治具掉落情况的发生,同时解决了晶圆产品碎裂缺陷发生的问题。
本文源自:金融界
作者:情报员
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